[实用新型]一种去胶液灌装设备有效

专利信息
申请号: 201921187863.9 申请日: 2019-07-26
公开(公告)号: CN210393677U 公开(公告)日: 2020-04-24
发明(设计)人: 童晨 申请(专利权)人: 昆山晶科微电子材料有限公司
主分类号: B67C3/26 分类号: B67C3/26;B67C3/28
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 215000 江苏省*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 一种 去胶液 灌装 设备
【说明书】:

实用新型为了解决去胶液无法定量灌装的问题,提供了一种去胶液灌装设备,包括灌装料箱、定量气缸、定量桶以及伸缩气缸;灌装料箱侧边设置有固定支撑板,定量气缸通过定量气缸支撑板与固定支撑板相连接,定量气缸的活塞杆顶端连接有移动板,定量桶包括定量杆以及定量活塞,定量杆与移动板通过螺栓连接并带动定量活塞沿定量桶内壁上下移动,定量桶贯穿固定在固定支撑板上的第一固定板以及第二固定板,定量桶设置有若干个,且每个定量桶下端均连接有一用于控制去胶液流向的三通阀,每个所述三通阀侧边与灌装料箱相连接,底边通过直角弯管与灌装桶相连接,灌装桶包括灌装头。灌装设备实现定量灌装,避免罐装瓶中的去胶液灌装不满或溢出现象。

技术领域

本实用新型涉及灌装领域,尤其涉及一种去胶液灌装设备。

背景技术

光刻胶也称为光致抗蚀剂,是一种不导电的光敏材料,它通过受到光照后特性会发生改变的原理将光刻掩膜版上的图形转移到晶圆片上,显影过后未固化的光刻胶需要用去胶液洗掉,暴露处底材再进行相应的蚀刻。常见的灌装设备在将去胶液进行灌装时,无法精确控制罐装瓶中的去胶液的灌装量,导致罐装瓶中的去胶液罐装不满或者溢出等现象。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题是:提供一种去胶液灌装设备,能精确控制去胶液的灌装量。

技术方案:一种去胶液灌装设备,所述灌装料箱侧边设置有固定支撑板,所述定量气缸通过定量气缸支撑板与固定支撑板相连接,所述定量气缸的活塞杆顶端连接有移动板,所述定量桶包括定量杆以及定量活塞,所述定量杆与移动板通过螺栓连接并带动定量活塞沿定量桶内壁上下移动,所述定量桶贯穿固定在固定支撑板上的第一固定板以及第二固定板,所述定量桶设置有若干个,且每个定量桶下端均连接有一用于控制去胶液流向的三通阀,每个所述三通阀侧边与灌装料箱相连接,底边通过直角弯管与灌装桶相连接,所述灌装桶包括灌装头。

优选的,所述定量活塞与定量桶形状相同且大小相配合。

优选的,所述灌装桶还包括连接杆,所述伸缩气缸通过支撑块固定在灌装桶上方。

优选的,所述伸缩气缸底端连接带有隔圈的连接杆,且所述隔圈与灌装桶上的灌装头大小相配合。

优选的,所述定量气缸支撑板与第二固定板之间设置有防止移动板移动错位的导向柱。

优选的,所述三通阀、定量气缸以及伸缩气缸均与外部控制器电性连接。

本实用新型实现以下有益效果:

1.利用螺栓、定量杆以及定量活塞的配合,可调节进入到定量桶中的去胶液的量,实现定量罐装,提高了灌装的工作效率;

2.三通阀可控制去胶液的流通走向;

3.定量气缸活塞杆伸出带动定量活塞向下,将定量桶内的去胶液通过直角弯管推进灌装桶中,实现定量罐装。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分,示出了符合本公开的实施例,并与说明书一起用于解释本公开的原理。

图1为本实用新型提供的整体结构示意图。

图2为本实用新型提供的灌装桶结构示意图。

图3为本实用新型提供的定量桶结构示意图。

图中:1.灌装料箱;2.固定支撑板;3.定量气缸支撑板;4.定量气缸;5.导向柱;6.移动板;7.螺栓;8.定量桶;81.定量杆;82.定量活塞;9.直角弯管;10.灌装桶;101.灌装头;102.连接杆;11伸缩气缸;12.支撑块;13.三通阀;14.第一固定板;15.第二固定板。

具体实施方式

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