[实用新型]负胶显影液生产用混合罐

说明书

为了解决现有技术中负胶显影液生产用的混合罐在维修过滤器的同时无法进行持续过滤工作的缺陷，所以本实用新型公开了负胶显影液生产用混合罐，包括混合罐主体、以及位于混合罐主体顶部的搅拌装置，混合罐主体的出液口安装有一分管器，分管器连接有数根分支管路，每根分支管路均连接有一过滤器，每个过滤器的内部均包括有数个过滤膜，每根分支管路与过滤器的接头端设有一单向阀一，每个过滤器连接有一用于伸进成品罐内的出液管，本实用新型将多个过滤器与混合罐主体连接，可以对混合罐主体内的物料进行高效过滤，并且在维修时可以逐个进行维修，不会影响其它过滤器对混合罐主体内的物料进行过滤。

技术领域

本实用新型涉及微电子化学试剂技术领域，尤其涉及负胶显影液生产用混合罐。

背景技术

光学曝光过程中，为了将掩模上的图形转移到原片上，辐照必须作用在光敏物质上，该光敏物质必须通过光照，改变材料性质，使在完成光刻工艺后，达到转移图形的目的，该光敏物质称为光刻胶。

光刻胶分正胶和负胶。

现有的负胶显影液通常是在混合罐内进行混合生产而成的，并且负胶显影液混合加工后需要进行过滤才能灌装至成品罐内，但是现有的混合罐所设有的过滤器在维修保养期间就无法继续进行过滤作业，这样会导致混合罐内的物料堆积无法进行按时灌装，从而降低了生产效率。

实用新型内容

实用新型目的：为了解决背景技术中存在的不足，所以本实用新型提供了负胶显影液生产用混合罐，可以实现对混合罐主体内的物料进行持续过滤，从而提高了工作效率。

技术方案：负胶显影液生产用混合罐，包括混合罐主体、以及位于混合罐主体顶部的搅拌装置，所述混合罐主体的出液口安装有一分管器，所述分管器连接有数根分支管路，每根所述分支管路均连接有一过滤器，每个所述过滤器的内部均包括有数个过滤膜，每根所述分支管路与所述过滤器的接头端设有一单向阀一，每个所述过滤器连接有一用于伸进成品罐内的出液管。

进一步的是，每个所述过滤器与所述出液管的接头端设有一单向阀二。

进一步的是，所述过滤膜的孔径大小为0.08-0.25MM。

进一步的是，所有所述过滤器皆于同一密封盒内放置。

进一步的是，所述密封盒的顶部设有抽风系统。

本实用新型实现以下有益效果：

本实用新型通过在混合罐主体的出液口设置分管器，并且将分管器上所设置的分支管路分别连接一过滤器，在维修保养时可以逐个进行维修，不会影响其它过滤器对混合罐主体内的物料进行过滤，且多个过滤器工作效率较高，能够减少工作时间，节约生产成本。

2.本实用新型通过将所有的过滤器设置在同一个密封盒内，可防止对负胶显影液过滤期间有气体泄漏造成大气污染，在密封盒顶部设置的抽风系统可以将密封盒内的气体抽取至相应区域进行处理，确保无污染气体排放。

附图说明

此处的附图被并入说明书中并构成本说明书的一部分，示出了符合本公开的实施例，并与说明书一起用于解释本公开的原理。

图1为本实用新型提供的整体结构示意图。

图2为本实用新型提供的过滤器结构示意图。

图3为本实用新型提供的过滤膜结构示意图。

图中：1.混合罐主体、2.搅拌装置、3.出液口、4.分管器、5.分支管路、6.过滤器、7.单向阀一、8.出液管、9.单向阀二、10.成品罐、11.密封盒、12.抽风系统、13.过滤膜、14.孔径。

具体实施方式