[实用新型]一种氢氟酸生产用蒸馏系统有效
申请号: | 201921187881.7 | 申请日: | 2019-07-26 |
公开(公告)号: | CN210384886U | 公开(公告)日: | 2020-04-24 |
发明(设计)人: | 童晨 | 申请(专利权)人: | 昆山晶科微电子材料有限公司 |
主分类号: | B01D3/00 | 分类号: | B01D3/00;C01B7/19 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 215000 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 氢氟酸 生产 蒸馏 系统 | ||
1.一种氢氟酸生产用蒸馏系统,其特征在于,包括蒸馏塔、进料组件、蒸汽加热器以及物料室,所述物料室内部包括存储有液态氟化氢的供料总站、两个计量站,所述供料总站与两个计量站分别通过输料管连接,每个所述计量站与供料总站所对应输料管的接头处均设有单向电磁阀一,所述进料组件包括主进料管、分管器以及两根进料支管,所述主进料管的一端与蒸馏塔连接,另一端与分管器连接,每根所述进料支管的一端与分管器连接,另一端对应连接一个计量站,所述两个计量站与蒸馏塔所对应进料支管的接头处均设有单向电磁阀二,所述蒸馏塔下方设有由有机玻璃材质制成的收集盒,所述蒸汽加热器的进水口通过进水管连接有水源站,所述蒸汽加热器的出气口通过蒸汽管与所述蒸馏塔连接。
2.根据权利要求1所述的一种氢氟酸生产用蒸馏系统,其特征在于,所述主进料管以及进料支管均与分管器一体成型。
3.根据权利要求1所述的一种氢氟酸生产用蒸馏系统,其特征在于,每个所述计量站内均设有一气体泄露检测器。
4.根据权利要求1所述的一种氢氟酸生产用蒸馏系统,其特征在于,每个所述计量站的底部均设有电子称重秤。
5.根据权利要求1所述的一种氢氟酸生产用蒸馏系统,其特征在于,所述收集盒的底部还设有单向电磁阀三。
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