[实用新型]设有承载边框的硅片花篮有效

专利信息
申请号: 201921188948.9 申请日: 2019-07-25
公开(公告)号: CN210110729U 公开(公告)日: 2020-02-21
发明(设计)人: 罗西佳;腾云;孟祥熙;梅晓东 申请(专利权)人: 常州时创能源科技有限公司
主分类号: H01L21/673 分类号: H01L21/673
代理公司: 暂无信息 代理人: 暂无信息
地址: 213300 江苏*** 国省代码: 江苏;32
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摘要:
搜索关键词: 设有 承载 边框 硅片 花篮
【权利要求书】:

1.设有承载边框的硅片花篮,其特征在于,包括主架体和若干承载边框;

所述承载边框为矩形,由一对横边框条和一对竖边框条围成;该对横边框条的内侧面分别设有:可供硅片插入的横向插槽;横向插槽与其所在的横边框条同向延伸;其中一个竖边框条可活动,该可活动的竖边框条与其中一个横边框条铰接;

所述主架体包括侧围;侧围由一对相互平行的竖置端板和一对侧架围成;该对端板的内侧面分别设有:一排可供竖边框条插放的竖向插槽;该对端板的竖向插槽对称设置;各竖向插槽的顶端敞口,各竖向插槽的底端封闭;

单个承载边框的一对竖边框条分别插入某一对对称设置的竖向插槽中,且该承载边框由该对称设置的竖向插槽支承。

2.根据权利要求1所述的设有承载边框的硅片花篮,其特征在于,上述一对端板的竖向插槽都位于上述一对侧架之间。

3.根据权利要求1所述的设有承载边框的硅片花篮,其特征在于,所述承载边框为正方形。

4.根据权利要求1所述的设有承载边框的硅片花篮,其特征在于,所述承载边框为长方形,上述一对横边框条为长方形的长边,上述一对竖边框条为长方形的宽边。

5.根据权利要求1所述的设有承载边框的硅片花篮,其特征在于,上述一对侧架分别由至少两个侧杆组成,同一侧架中的各个侧杆位于同一竖直面。

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