[实用新型]N2

说明书

本申请实施例提供一种N₂O的提纯装置以及生产系统，涉及N₂O提纯技术领域。N₂O的提纯装置包括预冷器结构、节流膨胀机构和精馏塔。预冷器结构包括依次连通的第一预冷器、第二预冷器和第三预冷器，第一预冷器的物料进口用于通入N₂O源，第二预冷器的冷媒出口用于与N₂O储罐连通。节流膨胀机构的物料进口与第三预冷器的物料出口连通。精馏塔的进料端与节流膨胀机构的物料出口连通；精馏塔的出气端与第一预冷器的进气端连通；精馏塔的第一物料出口与第二预冷器的冷媒进口连通；精馏塔底部的第二物料出口与第三预冷器的冷媒进口连通。其无需配置额外的制冷装置提供精馏冷源。

技术领域

本申请涉及N₂O提纯技术领域，具体而言，涉及一种N₂O的提纯装置以及生产系统。

背景技术

近几年来，随着我国超大规模集成电路、平板显示器、光伏发电等产业的迅速发展，电子气体市场需求量明显增长。半导体制造生产过程中需要用大量的高纯电子级一氧化二氮气体。

目前，国内基本采用纯度大于99％、含有一些杂质的工业级(医用)一氧化二氮为原料，通过精馏方法脱除残存的低沸点气体及微量有害物质，来获取纯度为99.9999％的一氧化二氮。其工艺配置大多需要另外的制冷装置来提供精馏冷源。

实用新型内容

本申请实施例的目的在于提供一种N₂O的提纯装置以及生产系统，其依靠一氧化二氮在精馏塔中的物相变化和节流膨胀机构的作用来提供冷源，无需配置额外的制冷装置提供精馏冷源。

第一方面，本申请实施例提供了一种N₂O的提纯装置，其包括预冷器结构、节流膨胀机构和精馏塔。预冷器结构包括第一预冷器、第二预冷器和第三预冷器，第一预冷器的物料进口用于通入N₂O源，第一预冷器的物料出口与第二预冷器的物料进口连通，第二预冷器的物料出口与第三预冷器的物料进口连通，第二预冷器的冷媒出口用于与N₂O储罐连通。节流膨胀机构的物料进口与第三预冷器的物料出口连通。精馏塔的物料进口与节流膨胀机构的冷媒出口连通；精馏塔的出气端与第一预冷器的进气端连通；精馏塔的第一物料出口与第二预冷器的冷媒进口连通；精馏塔底部的第二物料出口与第三预冷器的冷媒进口连通。