[实用新型]一种真空沉积过滤桶

说明书

本实用新型一种真空沉积过滤桶，包括底座、桶体、第一过滤组件和上盖；所述桶体设置在所述底座上，所述上盖盖设在所述桶体上，所述第一过滤组件设置在所述桶体内部，包括螺旋过滤吸附支架和第一过滤棉，所述第一过滤棉包裹在所述螺旋过滤吸附支架上；所述桶体下部设有进气口；所述上盖上设有出气口。本实用新型在不影响设备工作的情况下，吸附与过滤真空排气管道气体中粉尘，延长设备的使用寿命和清洗周期。

技术领域

本实用新型涉及废气过滤沉积领域，尤其涉及一种真空沉积过滤桶。

背景技术

半导体金属制程工艺中，对金属进行干式刻蚀,产生大量的金属生成物粉尘等类似的粉末化气体。在真空泵抽气的过程中，金属生成物慢慢的堵在泵体内与真空管道内。真空泵从正常的保养周期2年降到6个月。管道保养周期从1年减少到1个月。严重影响生产效率与费用。

实用新型内容

本实用新型的目的是：提供一种真空沉积过滤桶，设置在管道中，减少粉尘进入真空泵与排气管道。

为了实现上述目的，本实用新型的技术方案是：

一种真空沉积过滤桶，包括底座、桶体、第一过滤组件和上盖；所述桶体设置在所述底座上，所述上盖盖设在所述桶体上，所述第一过滤组件设置在所述桶体内部，包括螺旋过滤吸附支架和第一过滤棉，所述第一过滤棉包裹在所述螺旋过滤吸附支架上；所述桶体下部设有进气口；所述上盖上设有出气口。

进一步的，还包括第二过滤棉支架和第二过滤棉；所述第二过滤棉设置在所述第二过滤棉支架上；所述第二过滤棉支架设置在所述螺旋过滤吸附支架上。

进一步的，所述桶体和上盖之间还设有密封圈。

实用新型相对于现有技术的优势：

本实用新型由于设置了螺栓过滤吸附支架，在螺旋过滤吸附支架上缠绕了过滤棉，增加气体在过滤沉积桶内部流程长度，增加气流与吸附棉接触面积，有效过滤金属粉末。

附图说明

图1是本实用新型真空沉积过滤桶的爆炸示意图。

图2是本实用新型真空沉积过滤桶中第一过滤组件的局部剖视放大图。

图3是本实用新型实际应用的示意图。

具体实施方式

以下结合附图进一步说明本实用新型的实施例。

请参见图1和图2所示，一种真空沉积过滤桶，包括底座1、桶体2、第一过滤组件3和上盖4；所述桶体2设置在所述底座1上，所述上盖4盖设在所述桶体2上，所述第一过滤组件3设置在所述桶体2内部，包括螺旋过滤吸附支架31和第一过滤棉32，所述第一过滤棉32包裹在所述螺旋过滤吸附支架31上；所述桶体1下部设有进气口7；所述上盖4上设有出气口8。在桶体2内部增加绕转过滤装置，即螺旋过滤吸附支架31，且在螺旋过滤吸附支架31上缠设第一过滤棉32，大大的增加吸附面积，有效吸附与过滤真空排气管道气体中粉尘。

优选的，还包括第二过滤棉支架5和第二过滤棉6；所述第二过滤棉6设置在所述第二过滤棉支架5上；所述第二过滤棉支架设置在所述螺旋过滤吸附支架31上，进行二次过滤，进一步过滤粉尘。

优选的，所述桶体2和上盖4之间还设有密封圈。

使用时，可以连续设置多个本实用新型真空沉积过滤桶，或在一个工艺工程的多个设备之间分别设置一个真空沉积过滤桶，可有效清除气体中的粉尘，延长工艺过程中使用的真空泵等器件的使用寿命与真空配管清扫周期。

请参见图3所示，为本实用新型实际应用的示意图。工艺腔中出来的气体先经过一个真空沉积过滤桶过滤后通入真空泵中，从真空泵中出来的气体再经过一个真空沉积过滤桶过滤后进入废弃处理设备，经过两个真空沉积过滤桶过滤掉气体中大量的粉尘。

综上所述，本实用新型在不影响设备工作的情况下，吸附与过滤真空排气管道气体中粉尘，延长设备的使用寿命和清洗周期。