[实用新型]一种双臂夹持洁净机械手

权利要求书

1.一种双臂夹持洁净机械手，其特征在于：包括机械手主体(1)，所述机械手主体(1)顶部设置有两个机械臂(2)，两个所述的机械臂(2)上下依次设置，所述机械臂(2)包括用于夹持晶圆的手指组件(3)和与所述手指组件(3)相连并驱动所述手指组件(3)运作的腕部组件(4)；

所述腕部组件(4)包括中空的密封外壳(401)，所述密封外壳(401)内设置有夹持传感器(402)、松持传感器(403)和检片传感器(404)，所述手指组件(3)包括固定手指(301)和运动手指(302)，所述固定手指(301)和运动手指(302)上设置有由聚醚醚酮制成的夹持垫(303)；

所述机械手主体(1)上设置有防水组件，所述防水组件包括遮水盘(5)和接水盘(6)，所述遮水盘(5)固定在所述机械手主体(1)顶部，所述接水盘(6)设置于所述手指组件(3)的正下方。

2.根据权利要求1所述的一种双臂夹持洁净机械手，其特征在于：所述接水盘(6)上设置有导流槽(601)和泄流孔(602)，所述导流槽(601)与泄流孔(602)连通，所述泄流孔(602)位于遮水盘(5)正上方。

3.根据权利要求1所述的一种双臂夹持洁净机械手，其特征在于：所述防水组件还包括设置于所述密封外壳(401)边缘的台阶状的防水槽(405)和设置于所述密封外壳(401)底部的若干排水孔(406)，所述防水槽(405)内设置有防水硅胶垫(407)。

4.根据权利要求3所述的一种双臂夹持洁净机械手，其特征在于：所述防水组件还包括设置于所述密封外壳(401)下端边缘、设置于所述遮水盘(5)下端边缘以及设置于所述接水盘(6)下端边缘的防水裙边(7)。

5.根据权利要求4所述的一种双臂夹持洁净机械手，其特征在于：所述防水裙边(7)向外倾斜。