[实用新型]一种自动化镀膜装置

权利要求书

1.一种自动化镀膜装置，包括自动镀膜机(1)，其特征在于：所述自动镀膜机(1)的前端面设置有自动镀膜机防护门(2)，所述自动镀膜机防护门(2)的前端面设置有观测窗(3)，所述观测窗(3)的一侧设置有防护门把手(13)，所述自动镀膜机(1)的上方设置有伺服电机(4)，所述伺服电机(4)的下表面设置有联轴器(5)，所述联轴器(5)的下表面设置有传动杆(14)，所述传动杆(14)的两侧均设置有悬挂臂(15)，且悬挂臂(15)设置有六个，所述悬挂臂(15)的一端设置有镀膜原件(19)，所述自动镀膜机(1)的内部设置有真空腔(22)，所述传动杆(14)的后端面设置有加热孔(16)，且加热孔(16)设置有若干个，所述自动镀膜机(1)的另一侧设置有等离子通道(7)，所述等离子通道(7)的一端设置有等离子溅射口(17)，且等离子溅射口(17)设置有两个，所述等离子通道(7)的另一端设置有等离子溅射器(8)，所述等离子溅射口(17)的一侧设置有空气抽离口(18)，所述空气抽离口(18)的一端设置有空气抽离管(9)，所述空气抽离管(9)的外壁上设置有增压泵(10)，所述增压泵(10)的一侧设置有密封圈(11)，所述空气抽离管(9)的一端设置有机械泵(12)。

2.根据权利要求1所述的一种自动化镀膜装置，其特征在于：所述伺服电机(4)的输出端通过联轴器(5)与传动杆(14)传动连接。

3.根据权利要求1所述的一种自动化镀膜装置，其特征在于：所述自动镀膜机(1)的一侧设置有真空测量计(6)。

4.根据权利要求1所述的一种自动化镀膜装置，其特征在于：所述空气抽离口(18)的一端通过空气抽离管(9)与机械泵(12)固定连接。

5.根据权利要求1所述的一种自动化镀膜装置，其特征在于：所述悬挂臂(15)的外壁上设置有绝缘套(20)。

6.根据权利要求1所述的一种自动化镀膜装置，其特征在于：所述加热孔(16)的内部设置有U型加热管(21)。