[实用新型]一种喷头装置

权利要求书

1.一种喷头装置，其特征在于，该喷头装置用在原子层沉积中对柔性膜表面进行气体喷射处理，包括呈长条状的喷头本体(1)，该喷头本体(1)的工作面沿着柔性膜的移动方向依次划分为若干先导气工作区，相邻两个先导气工作区之间为缓冲区，若干先导气工作区以及缓冲区的四周为气体隔离面，且所有先导气工作区以及缓冲区统称为封装工作区；其中，

喷头本体(1)在垂直于柔性膜的移动方向的一个侧面上，在所有先导气工作区和缓冲区以及气体隔离面均匀开设有若干平行布置的进气管道(2)，另一个侧面上在开设有若干平行布置的排气管道(3)，且进气管道(2)和排气管道(3)均为盲孔，进气管道(2)的进气口与主气路系统(9)的上游部分相连接，排气管道(3)的出气口与主气路系统(9)的下游部分相连接；

喷头本体(1)的工作面均匀开设有若干排气孔(4)，在每个先导气工作区均开设有气体回收槽(5)；每条进气管道(2)均与对应的若干排气孔(4)连通，每条排气管道(3)均与对应的气体回收槽(5)连通。

2.根据权利要求1所述的一种喷头装置，其特征在于，每条进气管道(2)均通过进气衔接管道(6)与对应的若干排气孔(4)连通。

3.根据权利要求2所述的一种喷头装置，其特征在于，进气衔接管道(6)的尺寸设计要求为(d₁-d₂)/2H>0.1；其中d₁为进气衔接管道内直径，d₂为排气孔直径，H为进气衔接管道长度。

4.根据权利要求3所述的一种喷头装置，其特征在于，进气管道内直径设计为d₀>10Σ(d₂)，即进气管道内直径d₀大于所在功能区内所有排气孔直径相加总和的10倍。

5.根据权利要求1所述的一种喷头装置，其特征在于，每条排气管道(3)均通过排气衔接管道(7)与对应的气体回收槽(5)连通。

6.根据权利要求1所述的一种喷头装置，其特征在于，在进气管道(2)与主气路系统(9)的连接处设置有一个微型调节腔(8)，该微型调节腔(8)为锥形圆筒状部件。

7.根据权利要求6所述的一种喷头装置，其特征在于，微型调节腔(8)的设计要求为arctan(d₀-d₃)/2L<arctan(200/R_e)，其中d₀为进气管道内直径，d₃为主气路系统管道内直径，L为微型调节腔的长度，R_e为喷头进气管道输入气体雷诺数。

8.根据权利要求1所述的一种喷头装置，其特征在于，气体回收槽(5)在封装工作面两端对称开口连接对应的排气管道(3)。

9.根据权利要求1所述的一种喷头装置，其特征在于，排气管道(3)横截面的面积总和小于所有进气管道(2)横截面的面积总和的10％，即ΣS_排<0.1ΣS_进。