[实用新型]一种应用于柔性膜表面处理喷头的导气槽结构及喷头有效
申请号: | 201921204694.5 | 申请日: | 2019-07-29 |
公开(公告)号: | CN210420153U | 公开(公告)日: | 2020-04-28 |
发明(设计)人: | 崔东旭;郭鸿晨;许淘元;李瑞斌;贾培军;赵超;陈静升 | 申请(专利权)人: | 陕西煤业化工技术研究院有限责任公司;郭鸿晨 |
主分类号: | C23C16/455 | 分类号: | C23C16/455 |
代理公司: | 西安通大专利代理有限责任公司 61200 | 代理人: | 王艾华 |
地址: | 710077 陕西省西安市*** | 国省代码: | 陕西;61 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 应用于 柔性 表面 处理 喷头 导气槽 结构 | ||
1.一种应用于柔性膜表面处理喷头的导气槽结构,其特征在于:包括喷头本体,喷头本体的封装工作面(1)沿着柔性膜的移动方向依次划分为若干先导气工作区(1053),相邻两个先导气工作区(1053)之间为缓冲区(1052),若干先导气工作区(1053)以及缓冲区(1052)的四周为气体隔离面(1051);沿气体隔离面(1051)以及封装工作面(1)的先导气工作区(1053)和缓冲区(1052)上分布有多个排气孔(2),导气槽(3)选择性的连接在不同的排气孔(2)之间,通过排气孔(2)实现相邻导气槽(3)之间的串接;通过导气槽(3)对若干个排气孔(2)进行互联,两个排气孔(2)之间的导气槽(3)呈扩张型布置,通过导气槽(3)使出射气体射流在排出排气孔(2)的同时向排气孔(2)四周迅速扩撒。
2.根据权利要求1所述应用于柔性膜表面处理喷头的导气槽结构,其特征在于:所述两个排气孔(2)之间的导气槽(3)呈圆弧型布置。
3.根据权利要求1所述应用于柔性膜表面处理喷头的导气槽结构,其特征在于:两个排气孔(2)之间的导气槽(3)由弧线型拼接而成,拼接处的导气槽(3)设置有直接交叉点(4),弧线的最大弧度位于排气孔(2),且最大弧度大于连接两个排气孔(2)的圆周弧度。
4.根据权利要求2或3所述应用于柔性膜表面处理喷头的导气槽结构,其特征在于:在两个排气孔(2)的两侧对称布置有两个导气槽(3),所有的导气槽(3)之间互相连通。
5.根据权利要求1所述应用于柔性膜表面处理喷头的导气槽结构,其特征在于:所述导气槽(3)的深度小于100μm,导气槽(3)的宽度小于排气孔(2)直径的70%。
6.根据权利要求5所述应用于柔性膜表面处理喷头的导气槽结构,其特征在于:所述导气槽(3)的横截面为长方形,宽度为80μm,深度为70μm。
7.根据权利要求1所述应用于柔性膜表面处理喷头的导气槽结构,其特征在于:所述导气槽(3)连接在封装工作面(1)的工作区与缓冲区上的排气孔(2)之间,且缓冲区上的排气孔(2)以及同一个工作区上的排气孔(2)分别通过导气槽(3)独立联通。
8.一种使用权利要求1-7中任意一项所述应用于柔性膜表面处理喷头的导气槽结构的喷头,其特征在于:包括封装工作面(1)、衔接面(104)、复合功能面(101)以及电/气/机械控制面(102),所述的封装工作面(1)与待处理材料(200)的表面相对,设有先导气工作区(1053)、缓冲区(1052)、气体隔离面(1051)和排气孔(2);
其中,沿先导气工作区(1053)、缓冲区(1052)以及气体隔离面(1051)上分布有多个排气孔(2),导气槽(3)选择性的连接在排气孔(2)之间。
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C23C 对金属材料的镀覆;用金属材料对材料的镀覆;表面扩散法,化学转化或置换法的金属材料表面处理;真空蒸发法、溅射法、离子注入法或化学气相沉积法的一般镀覆
C23C16-00 通过气态化合物分解且表面材料的反应产物不留存于镀层中的化学镀覆,例如化学气相沉积
C23C16-01 .在临时基体上,例如在随后通过浸蚀除去的基体上
C23C16-02 .待镀材料的预处理
C23C16-04 .局部表面上的镀覆,例如使用掩蔽物的
C23C16-06 .以金属材料的沉积为特征的
C23C16-22 .以沉积金属材料以外之无机材料为特征的