[实用新型]一种质量流量控制器

说明书

本实用新型公开了一种质量流量控制器，包括设备主体、阀体、差动放大电路和微处理器；第一阀门处设置有流量检测传感器A，第二阀门处设置有流量检测传感器B，流量检测传感器A和流量检测传感器B分别检测阀体两端的气管道接头和出气管道接头处流通的气体流量，并将检测结果通过差动放大电路连接至微处理器，差动发大电路可将信号放大，并有效降低零点漂移的发生；温度检测仪A和温度检测仪B检测第一阀门和第二阀门处的温度变化信息，并将检测结果同样通过差动放大电路连接至微处理器，根据检测结果，微处理器调整温控器，从而调整降温管道内冷却液的温度，降低阀体周围温度波动幅度，进一步避免零点漂移的发生，防止检测数据不准确。

技术领域

本实用新型涉及气体流量监控设备技术领域，具体为一种质量流量控制器。

背景技术

质量流量控制器用于对于气体或者液体的质量流量进行精密测量和控制。扩散，氧化，分子束外延，CVD，等离子刻蚀，溅射，离子注入，以及真空镀膜设备，光纤熔炼，微反应装置，混气配气系统，毛细管测量气象色谱仪，光导纤维制造设备中。并广泛用于石油化工。冶金，制药等。特点:精度高，重复性好。通常由电路板、传感器、进出气管道接头、分流器管道、机壳、调节阀等部件组成。

在现代工业中，许多制造工序都需要使用反应气体，将各种反应气体供给到半导体机台时需要控制反应气体的流量，因此在各种反应气体的供给流路中都分别设置有质量流量控制器。在实际使用过程中发现，现有的质量流量控制器存在零点漂移问题，零点漂移会影响重复性，导致测量值不准确，进而影响质量流量控制器的精度。引起质量流量控制器零点漂移的原因很多，例如工作温度过高、器件线路老化、反应气体中含有固体异物或传感器本身的热漂移等，都会使质量流量控制器的零点产生漂移。由于现有的质量流量控制器无法自动反馈零点漂移的数据信号，因此目前只能通过设备点检以收集零点漂移的数据或确认所述质量流量控制器的使用时间，根据设备点检情况确定是否需要进行手动调整对零点漂移进行补偿。采用这种人工监控方式比较费时，而且零点漂移无法得到及时补偿。因此，无法有效地防止零点漂移的发生。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种质量流量控制器，以解决上述背景技术中提出的问题。

为实现上述目的，本实用新型提供如下技术方案：一种质量流量控制器，包括设备主体、阀体、差动放大电路和微处理器；所述设备主体底部设置有固定座，设备主体内部设置有阀体，阀体两端分别连接进气管道接头和出气管道接头；所述进气管道接头处设置有第一阀门，出气管道接头处设置有第二阀门，所述第一阀门处设置有流量检测传感器A，第二阀门处设置有流量检测传感器B，流量检测传感器A和流量检测传感器B通过差动放大电路连接至微处理器；所述阀体外侧设置有均匀排布的降温管道，降温管道内填充冷却液，降温管道末端连接至冷却液储罐，冷却液储罐一侧设置有温控器，温控器连接至微处理器。

优选的，所述阀体包括主阀体和分流器，分流器上设置有分流入口和分流出口，分流入口和分流出口分别于进气管道接头和出气管道接头对应连接。

优选的，所述流量检测传感器A和流量检测传感器B处分别设置有温度检测仪A和温度检测仪B，温度检测仪A和温度检测仪B同样通过差动放大电路连接至微处理器。

优选的，所述降温管道呈S型排布在阀体外侧，进气管道接头和出气管道接头处分别设置有环绕的降温管道。

优选的，所述微处理器连接至显示设备，显示设备上设置有报警提示组件。