[实用新型]一种等离子放电设备

说明书

本实用新型公开的属于等离子加工技术领域的一种等离子放电设备，包括设备箱、电极板、真空泵、抽气泵和气体回收装置，设备箱的内顶壁和内底壁均螺接有电极板，设备箱的内后壁螺接有导轨，导轨的导槽与工件安装架滑动连接，设备箱的顶部贯穿开有注气口，注气口的顶端与第一气密阀固定连接，第一气密阀的另一端与输气管道固定连接，设备箱的顶部贯穿开有真空抽气口，真空抽气口的顶端与真空泵的进气口固定连接，设备箱的底壁开有排气口，排气口的底端与第二气密阀固定连接，第二气密阀的另一端与抽气泵的进气口固定连接，抽气泵的出气口与气体回收装置的进气口固定连接，本实用新型能够将未充分电离的工作气体进行回收，提高工作气体的使用效率。

技术领域

本实用新型涉及等离子加工技术领域，具体为一种等离子放电设备。

背景技术

等离子体放电技术常用于材料的表面改性和清洁，例如等离子清洗，即是一种依靠处于“等离子态”的物质的“活化作用”，来去除物体表面污渍的一种清洗方法，它属于电子工业清洗中的干法清洗，过程中需要真空泵制造一定的真空条件满足清洗所需，利用等离子体来达到常规清洗方法无法达到的效果，等离子态，也叫做物质的第四态，并不属于常见的固液气三态，通过放电对气体施加足够的能量使之离化便成为等离子状态，等离子体的“活性”组分包括：离子、电子、原子、活性基团、激发态的核素(亚稳态)、光子等，通过利用这些活性组分的性质来处理样品表面，从而实现清洁、涂覆等目的。

等离子放电设备通常无法将注入的工作气体完全转化为等离子态，这些未得到充分利用的工作气体常常在加工完成后直接排掉，造成了工作气体的浪费，而且工件装卸繁琐，影响工作效率。

实用新型内容

本部分的目的在于概述本实用新型的实施方式的一些方面以及简要介绍一些较佳实施方式。在本部分以及本申请的说明书摘要和实用新型名称中可能会做些简化或省略以避免使本部分、说明书摘要和实用新型名称的目的模糊，而这种简化或省略不能用于限制本实用新型的范围。

鉴于上述和/或现有一种等离子放电设备中存在的问题，提出了本实用新型。

因此，本实用新型的目的是提供一种等离子放电设备，能够解决上述提出的等离子放电设备通常无法将注入的工作气体完全转化为等离子态，这些未得到充分利用的工作气体常常在加工完成后直接排掉，造成了工作气体浪费，而且工件装卸繁琐，影响工作效率的问题。

为解决上述技术问题，根据本实用新型的一个方面，本实用新型提供了如下技术方案：

一种等离子放电设备，其包括：设备箱、电极板、真空泵、抽气泵和气体回收装置，所述设备箱的内顶壁和内底壁均螺接有电极板，所述设备箱的内后壁螺接有导轨，所述导轨的导槽与工件安装架滑动连接，所述设备箱的顶壁螺接有控制器，所述设备箱的右壁螺接有电源箱，所述设备箱的顶部贯穿开有注气口，所述注气口的顶端与第一气密阀固定连接，所述第一气密阀的另一端与输气管道固定连接，所述设备箱的顶部贯穿开有真空抽气口，所述真空抽气口的顶端与真空泵的进气口固定连接，所述设备箱的底壁开有排气口，所述排气口的底端与第二气密阀固定连接，所述第二气密阀的另一端与抽气泵的进气口固定连接，所述抽气泵的出气口与气体回收装置的进气口固定连接。

作为本实用新型所述的一种等离子放电设备的一种优选方案，其中：所述设备箱的左右内壁均固定设有屏蔽层。

作为本实用新型所述的一种等离子放电设备的一种优选方案，其中：所述设备箱的前壁铰接有气密门。

作为本实用新型所述的一种等离子放电设备的一种优选方案，其中：所述导轨的底壁螺接有加固支撑架，所述加固支撑架的另一端螺接设备箱的内后壁。

作为本实用新型所述的一种等离子放电设备的一种优选方案，其中：所述气体回收装置包括回收装置外壳、氧化金属过滤器和中空纤维膜过滤器，所述回收装置外壳的进气口与氧化金属过滤器的进气口固定连接，所述氧化金属过滤器的出气口与中空纤维膜过滤器固定连接。