[实用新型]一种单片晶圆盒有效
申请号: | 201921209461.4 | 申请日: | 2019-07-30 |
公开(公告)号: | CN210296324U | 公开(公告)日: | 2020-04-10 |
发明(设计)人: | 何施亮 | 申请(专利权)人: | 常熟市荣达电子有限责任公司 |
主分类号: | H01L21/673 | 分类号: | H01L21/673 |
代理公司: | 苏州广正知识产权代理有限公司 32234 | 代理人: | 谢东 |
地址: | 215500 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 单片 晶圆盒 | ||
本实用新型公开了一种单片晶圆盒,包括:盒体和盒盖,所述盒体和盒盖之间活动连接,所述盒体和盒盖均呈拱形结构,所述盒体内设置有晶圆放置区,所述晶圆放置区周边设置有限位弧边,所述限位弧边上均匀分布有多个开口,所述盒体内部4个角处设置有取件区,所述盒盖内表面设置有多个与所述开口对应的减震定位片,所述盒盖外表面设置有多个限位槽,所述盒体外表面设置有多个与所述限位槽对应的限位条。通过上述方式,本实用新型提供的单片晶圆盒,通过设置减震定位片,在盒体和盒盖合上时,减震定位片与晶圆片接触,对其进行减震定位,方便保存和运输。
技术领域
本实用新型涉及晶圆盒领域,特别是涉及一种单片晶圆盒。
背景技术
晶圆片作为半导体领域相关产品制作的原材料,在实际生产过程中,晶圆片盒起到承载保护的作用。 但在晶圆片盒的运输过程中,往往会应震动使放置在晶圆片盒内的晶圆片发生一定程度的损坏。
实用新型内容
本实用新型主要解决的技术问题是提供一种单片晶圆盒,方便保存和运输。
为解决上述技术问题,本实用新型采用的一个技术方案是:提供一种单片晶圆盒,包括:盒体和盒盖,所述盒体和盒盖之间活动连接,所述盒体和盒盖均呈拱形结构,所述盒体内设置有晶圆放置区,所述晶圆放置区周边设置有限位弧边,所述限位弧边上均匀分布有多个开口,所述盒体内部4个角处设置有取件区,所述盒盖内表面设置有多个与所述开口对应的减震定位片,所述盒盖外表面设置有多个限位槽,所述盒体外表面设置有多个与所述限位槽对应的限位条。
在本实用新型一个较佳实施例中,所述盒盖内表面环形设置有多个安装块。
在本实用新型一个较佳实施例中,所述减震定位片包括:安装套和定位片,所述定位片倾斜设置,所述定位片与安装套的一端固定连接。
在本实用新型一个较佳实施例中,所述安装块外围套设有安装套。
在本实用新型一个较佳实施例中,所述盒体的一端设置有第一搭扣,所述盒盖的一端设置有与第一搭扣对应的第二搭扣。
在本实用新型一个较佳实施例中,所述第一搭扣两侧设置有翻边。
本实用新型的有益效果是:本实用新型指出的一种单片晶圆盒,通过设置减震定位片,在盒体和盒盖合上时,减震定位片与晶圆片接触,对其进行减震定位,方便保存和运输。
附图说明
为了更清楚地说明本实用新型实施例中的技术方案,下面将对实施例描述中所需要使用的附图作简单地介绍,显而易见地,下面描述中的附图仅仅是本实用新型的一些实施例,对于本领域普通技术人员来讲,在不付出创造性劳动的前提下,还可以根据这些附图获得其它的附图,其中:
图1是本实用新型一种单片晶圆盒一较佳实施例的结构示意图;
图2是本实用新型一种单片晶圆盒闭合时的结构示意图;
图3是减震定位片的结构示意图;
图4是本实用新型一种单片晶圆盒内放置晶圆片的结构示意图。
具体实施方式
下面将对本实用新型实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述,显然,所描述的实施例仅是本实用新型的一部分实施例,而不是全部的实施例。基于本实用新型中的实施例,本领域普通技术人员在没有做出创造性劳动前提下所获得的所有其它实施例,都属于本实用新型保护的范围。
请参阅图1-4,本实用新型实施例包括:
一种单片晶圆盒,包括:盒体1和盒盖2,所述盒体1和盒盖2之间通过铰链3活动连接,所述盒体1和盒盖2均呈拱形结构,所述盒体1内设置有晶圆放置区4,所述晶圆放置区4周边设置有限位弧边5,所述限位弧边5上均匀分布有多个开口6。
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造