[实用新型]一种硅片分选机吸盘有效
申请号: | 201921212385.2 | 申请日: | 2019-07-30 |
公开(公告)号: | CN210628263U | 公开(公告)日: | 2020-05-26 |
发明(设计)人: | 夷欢 | 申请(专利权)人: | 扬州续笙新能源科技有限公司 |
主分类号: | H01L21/677 | 分类号: | H01L21/677 |
代理公司: | 南京苏科专利代理有限责任公司 32102 | 代理人: | 徐素柏 |
地址: | 225899 江苏省*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 硅片 分选 吸盘 | ||
本实用新型涉及太阳能晶硅生产装备技术领域内硅片分选机吸盘,包括圆形的吸盘罩,所述吸盘罩中心向上拱起,吸盘罩内拱侧的中心设有支承板,所述支承板周向均布有若干径向设置的贴合叶片,各贴合叶片的表面平齐,所述支承板表面设有真空抽吸孔,所述真空抽吸孔连通至吸盘罩外侧,其特征在于,所述吸盘罩的周向外缘均布有3~6个缓冲吸盘,各缓冲吸盘的下表面平齐设置,并且缓冲吸盘的下表面突出于贴合叶片表面。本实用新型的硅片分选机吸盘,通过在吸盘外周设置铺助的缓冲结构以缓冲硅片的震动冲击,降低硅片碎裂的机率,并提高分选机工作效率。
技术领域
本实用新型涉及太阳能晶硅生产装备技术领域,特别涉及一种用于切割后的硅片分选机的辅助装备技术领域。
背景技术
现有硅片分选机下料区用于分片抓取的吸盘结构,如图1所示,包括一向上拱起的吸盘罩,所述吸盘罩内拱侧的中心设有支承板,所述支承板周向均布有若干径向设置的贴合叶片,各贴合叶片的表面平齐用于贴合支撑吸附的硅片,所述支承板表面设有用于抓吸硅片的真空抽吸孔,所述真空抽吸孔连通至吸盘罩外侧。该结构的吸盘,在吸取硅片过程,贴合叶片对应的吸取表面的气流气压稍有变化,就会导致硅片在吸附过程中受力不均而碎裂损毁,并进一步造成分选机下料端碎片堆积影响连续运行的生产线的顺利运行,需要操作人员进行人工干预处理,严重影响分选工作的效率和产能的提升。
实用新型内容
本实用新型针对现有技术中的硅片分选机吸盘容易因气流气压波动造成碎片问题,提供一种硅片分选机吸盘,通过在吸盘外周设置铺助的缓冲结构以缓冲硅片的震动冲击,降低硅片碎裂的机率。
本实用新型的目的是这样实现的,一种硅片分选机吸盘,包括圆形的吸盘罩,所述吸盘罩中心向上拱起,吸盘罩内拱侧的中心设有支承板,所述支承板周向均布有若干径向设置的贴合叶片,各贴合叶片的表面平齐,所述支承板表面设有真空抽吸孔,所述真空抽吸孔连通至吸盘罩外侧,所述吸盘罩的周向外缘均布有3~6个缓冲吸盘,各缓冲吸盘的下表面平齐设置,并且缓冲吸盘的下表面突出于贴合叶片表面。
本实用新型的硅片分选机吸盘,在现有吸盘结构的基础上进行加装改造,具体为在吸盘外周均布多个缓冲吸盘,因缓冲吸盘下表面突出于贴合叶片表面,在硅片被真空抽吸贴附到贴合叶片表面之前,先与缓冲吸盘接触,通过缓冲吸盘的缓冲作用,有效防止硅片被抓取之前因气流气压波动而造成震动碎裂的问题。
为便于缓冲吸盘的固定安装,吸盘罩的背侧设有用于安装缓冲吸盘的安装板,所述安装板与吸盘罩之间通过螺钉固定连接。
作为本实用新型的一种优选,所述缓冲吸盘为硅胶软吸盘,所述硅胶软吸盘与安装板之间通过螺栓固定,所述硅胶软吸盘的吸合端为喇叭形。
进一步地,所述缓冲吸盘的下口缘突出贴合叶片表面1~3mm。
附图说明
图1为现在技术中硅片分选机吸盘的结构示意图。
图2为本实施例中的硅片分选机吸盘的结构的主视图。
图3为图2的俯视图。
图4为图2的后视图。
其中,1吸盘罩;2支承板;3贴合叶片;4真空抽吸孔;5缓冲吸盘;6安装板;7螺栓;8螺钉。
具体实施方式
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H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造