[实用新型]一种硅片传输机构

说明书

本实用新型公开了一种硅片传输机构，包括放置臂、过渡臂、行走机构和传输带，所述放置臂和所述过渡臂均用于放置硅片；所述行走机构包括行走臂和驱动所述行走臂的多轴模组，所述行走臂包括第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部和所述第二支撑部分别位于所述行走臂的两端部；所述过渡臂、所述放置臂和所述传输带依次等距设置，且与所述第一支撑部和所述第二支撑部间的距离相等；当所述第一支撑部插设进所述放置臂内时，所述第二支撑部插设进所述过渡臂内，以将所述放置臂和所述过渡臂上的所述硅片依次传输至所述过渡臂和所述传输带上。本实用新型能够提高硅片传输的效率。

技术领域

本实用新型涉及硅片自动化设备领域，具体涉及一种硅片传输机构。

背景技术

硅片在不同工位之间的传输需要借助传输机构辅助送料，再配合工位上设置的机械手实现硅片的抓取，从而将传输机构上的硅片放置在待加工工位的托盘上，以便于对硅片进行后续的加工处理。

硅片传输机构主要包括对称设置的皮带轮副，两皮带轮副通过同步的运动将放置在其上的硅片输送至所需的工位。但是因为现有技术中取料时通常借助机械手取料，机械手在取料时其在一个行程运动的过程中仅能完成一硅片的取放，因而降低了硅片传输时的效率。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是提供一种硅片传输机构，其能够提高硅片传输的效率。

为了解决上述技术问题，本实用新型提供了一种硅片传输机构，包括放置臂、过渡臂、行走机构和传输带，所述放置臂和所述过渡臂均用于放置硅片；所述行走机构包括行走臂和驱动所述行走臂的多轴模组，所述行走臂包括第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部和所述第二支撑部分别位于所述行走臂的两端部；所述过渡臂、所述放置臂和所述传输带依次等距设置，且与所述第一支撑部和所述第二支撑部间的距离相等；当所述第一支撑部插设进所述放置臂内时，所述第二支撑部插设进所述过渡臂内，以将所述放置臂和所述过渡臂上的所述硅片依次传输至所述过渡臂和所述传输带上。

进一步的，所述放置臂包括吸附腔和与所述吸附腔连通的气孔，所述气孔均位于所述放置臂的上表面，以吸附所述硅片。

进一步的，所述第一支撑部和所述第二支撑部上均连接有若干抽气接头，以吸附所述硅片。

进一步的，所述第一支撑部和所述第二支撑部上均设置有传感器。

进一步的，所述传输带包括两对称设置的皮带，两所述皮带上对称设置有若干定位部件；所述定位部件包括与所述硅片的边角匹配的导向部，以利用所述定位部件支撑所述硅片。

进一步的，所述定位部件上设置有分割筋，所述定位部件位于所诉分割筋的两侧形成对称设置的所述导向部。

进一步的，所述第二支撑部的游离端设置有挡板，所述挡板的厚度小于或等于相邻两所述硅片放置在所述传输带上的间距。

进一步的，所述分割筋的厚度大于或等于所述挡板的厚度。

进一步的，所述放置臂连接有移动模组，以便于抽取所述硅片。

本实用新型的有益效果：

当第一支撑部插设进放置臂内部时，第二支撑部同步的插设进过渡臂内部；当利用第一支撑部将放置在放置臂上的硅片托起时，第二支撑部能够同步的将放置在过渡臂上的硅片托起；当行走臂在多轴模组的驱动下远离放置臂向靠近传输带的方向运动时，当第一支撑部将其托起的硅片放置在过渡臂上时，第二支撑部能够同步的将硅片放置在传输带上，从而利用传输带的转动实现硅片的运输；利用第一支撑部和第二支撑部的配合减小了行走臂的运动行程，从而能够减小硅片运输的时间，以提高硅片传输的效率。

附图说明

图1是本实用新型的结构示意图；

图2是本实用新型中放置臂的结构示意图；