[实用新型]一种带定位的硅片传输装置和传输系统

权利要求书

1.一种带定位的硅片传输装置，其特征在于，包括二次定位机构和对称设置的传输带，所述传输带上对称设置有若干定位部件，且同一所述传输带上的所述定位部件等距分布；所述定位部件包括与硅片的边角匹配的导向部和分割筋，所述定位部件位于所述分割筋的两侧形成对称设置的所述导向部；位于两所述传输带间的所述二次定位机构包括推板和若干导向块，全部的所述导向块固定在所述推板的上表面，所述导向块和所述定位部件对应分布；所述导向块的上表面设置有定位筋，且所述定位筋和与其对应的所述分割筋共线，所述推板能够带动所述导向块向上运动，以将所述定位筋插设进相邻的所述硅片间。

2.如权利要求1所述的带定位的硅片传输装置，其特征在于，所述传输带上设置有若干安装块，所述安装块能够与所述定位部件可拆卸连接。

3.如权利要求1所述的带定位的硅片传输装置，其特征在于，所述导向部上设置有支撑柱。

4.一种包括权利要求1所述的带定位的硅片传输装置的传输系统，其特征在于，还包括放置臂和行走机构，所述放置臂用于放置所述硅片；所述行走机构包括行走臂和用于驱动所述行走臂的多轴模组，所述行走臂能够在所述多轴模组的驱动下位于所述放置臂和所述传输带间往复运动；所述行走臂能够插设进所述放置臂中，以将所述硅片输送至所述传输带上。

5.如权利要求4所述的传输系统，其特征在于，所述传输系统还包括过渡臂，其用于放置所述硅片；所述行走臂包括第一支撑部和第二支撑部，所述第一支撑部和所述第二支撑部分别位于所述行走臂的两端部；所述过渡臂、所述放置臂和所述传输带依次等距设置，与所述第一支撑部和所述第二支撑部间的距离相等；当所述第一支撑部插设进所述放置臂内时，所述第二支撑部插设进所述过渡臂内，以将所述放置臂和所述过渡臂上的所述硅片依次传输至所述过渡臂和所述传输带上。

6.如权利要求4所述的传输系统，其特征在于，所述放置臂包括吸附腔和与所述吸附腔连通的气孔，所述气孔均位于所述放置臂的上表面，以吸附所述硅片。

7.如权利要求5所述的传输系统，其特征在于，所述第一支撑部和所述第二支撑部上均设置有传感器。

8.如权利要求5所述的传输系统，其特征在于，所述第二支撑部的游离端设置有挡板，所述挡板的厚度小于或等于相邻两所述硅片放置在所述传输带上的间距。

9.如权利要求5所述的传输系统，其特征在于，所述第一支撑部和所述第二支撑部上均连接有若干抽气接头，以吸附所述硅片。

10.如权利要求4所述的传输系统，其特征在于，所述放置臂连接有移动模组，以便于抽取所述硅片。