[实用新型]真空烧结系统有效
| 申请号： | 201921217659.7 | 申请日： | 2019-07-31 |
| 公开（公告）号： | CN210374565U | 公开（公告）日： | 2020-04-21 |
| 发明（设计）人： | 张国顺 | 申请（专利权）人： | 河南科丰新材料有限公司 |
| 主分类号： | F27B5/05 | 分类号： | F27B5/05;F27B5/16;F27D7/06 |
| 代理公司： | 北京劲创知识产权代理事务所(普通合伙) 11589 | 代理人： | 王志敏 |
| 地址： | 450001 河南省*** | 国省代码： | 河南;41 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 真空 烧结 系统 | ||
1.一种真空烧结系统，其特征在于，包括：真空炉、扩散泵、第一真空泵组、第二真空泵组和维持真空泵；
所述真空炉的抽真孔口连接有主管道；
所述扩散泵的抽风口通过第一管道与所述主管道连通；
所述维持真空泵的抽风口通过第二管道与所述扩散泵的出风口连通；
所述第一真空泵组通过第三管道与所述主管道连通，所述第二真空泵组通过第四管道与所述主管道连通；并且，所述第三管道和所述第四管道并联在所述主管道上。
2.根据权利要求1所述的真空烧结系统，其特征在于，还包括第一阀门、第二阀门和第三阀门；
所述第一阀门连通在所述主管道和所述第一管道之间；
所述第二阀门连通在所述第三管道上；
所述第三阀门连通在所述第四管道上。
3.根据权利要求2所述的真空烧结系统，其特征在于，还包括第四阀门，所述第四阀门连通在所述主管道上，并且，所述第四阀门位于所述第一阀门的下游位置。
4.根据权利要求1所述的真空烧结系统，其特征在于，所述第一真空泵组包括通过管道相连通的第一罗茨真空泵和第一滑阀真空泵；所述第一罗茨真空泵的抽风口通过所述第三管道与所述主管道连通。
5.根据权利要求1所述的真空烧结系统，其特征在于，所述第二真空泵组包括通过管道相连通的第二罗茨真空泵和第二滑阀真空泵；所述第二罗茨真空泵的抽风口通过所述第四管道与所述主管道连通。
6.根据权利要求5所述的真空烧结系统，其特征在于，所述第二罗茨真空泵的另一个抽风口通过第五管道与所述第二管道连通。
7.根据权利要求6所述的真空烧结系统，其特征在于，所述第五管道和所述第二管道之间连通有第五阀门。
8.根据权利要求1所述的真空烧结系统，其特征在于，所述真空炉为真空钼丝炉。
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