[实用新型]一种直拉单晶炉

权利要求书

1.一种直拉单晶炉，包括坩埚和加热器，所述加热器的外围设有保温层，其特征在于：

所述坩埚包括用于承装熔体的石英坩埚和套设在所述石英坩埚外的外围支撑坩埚；所述加热器包括包围在所述坩埚周围的主加热器和设置在所述坩埚的底部的辅加热器；所述保温层外在垂直方向上间隔设有若干热电偶测温探头，或在保温层上开有供红外测温仪测温的第一窗口。

2.根据权利要求1所述的直拉单晶炉，其特征在于：所述的主加热器的高度为坩埚高度的1/3～2/3。

3.根据权利要求1所述的直拉单晶炉，其特征在于：所述的保温层包括位于内层的石墨保温内筒和位于外层的外保温层。

4.根据权利要求3所述的直拉单晶炉，其特征在于：所述的外保温层为碳毡或膨化石墨。

5.根据权利要求1所述的直拉单晶炉，其特征在于：所述的外围支撑坩埚由石墨或碳碳复合材料制成。

6.根据权利要求1所述的直拉单晶炉，其特征在于：所述的保温层外设有主炉筒体，所述主炉筒体上设有与所述的第一窗口对应的第一窗口。

7.根据权利要求1所述的直拉单晶炉，其特征在于：所述的辅加热器为圆盘状或碗状。

8.根据权利要求1所述的直拉单晶炉，其特征在于：所述的测温仪的位置在垂直方向上位于所述坩埚内熔体上下超出至少2cm的范围内。