[实用新型]一种激光复合切割分离透明脆性材料的装置

权利要求书

1.一种激光复合切割分离透明脆性材料的装置，其特征在于，包括超短脉冲激光输出组件、连续激光输出组件、合束组件、贝塞尔激光合成组件及xy两维工作台(18，43)；其中，

所述xy两维工作台(18，43)用于放置待处理的透明脆性材料，并能够带动该待处理的透明脆性材料在xy平面内运动；

所述超短脉冲激光输出组件包括超短脉冲激光器(1，30)和与该超短脉冲激光器(1，30)配合使用的第一扩束准直镜(3，32)，用于输出超短脉冲激光；该超短脉冲激光具体为皮秒脉冲激光或飞秒脉冲激光；

所述连续激光输出组件包括连续激光器(11，44)和与该连续激光器(11，44)配合使用的第二扩束准直镜(13，46)，用于输出连续激光；

所述合束组件用于将所述超短脉冲激光与所述连续激光进行同光轴合束成复合激光；

所述贝塞尔激光合成组件则用于对所述复合激光进行处理，使其转变为贝塞尔合成激光束；该贝塞尔合成激光束能够进一步被传输至所述xy两维工作台(18，43)上，从而对所述待处理的透明脆性材料进行一次性切割分离。

2.如权利要求1所述激光复合切割分离透明脆性材料的装置，其特征在于，所述合束组件具体为偏振合束镜(5)；所述超短脉冲激光与所述连续激光两者偏振方向不同。

3.如权利要求2所述激光复合切割分离透明脆性材料的装置，其特征在于，所述超短脉冲激光为具有P偏振方向的超短脉冲激光，所述连续激光为具有S偏振方向的连续激光；或者，所述超短脉冲激光为具有S偏振方向的超短脉冲激光，所述连续激光为具有P偏振方向的连续激光。

4.如权利要求1所述激光复合切割分离透明脆性材料的装置，其特征在于，所述合束组件具体为双波长合束镜(34)；所述超短脉冲激光与所述连续激光两者波长不同，且能够被所述双波长合束镜(34)同光轴合束成复合激光。

5.如权利要求1所述激光复合切割分离透明脆性材料的装置，其特征在于，所述贝塞尔激光合成组件包括锥透镜(8，37)以及由两个透镜组成的4f系统；所述复合激光经该贝塞尔激光合成组件处理后，将转变为中心主瓣直径不超过3微米的贝塞尔合成激光束。

6.如权利要求1所述激光复合切割分离透明脆性材料的装置，其特征在于，所述超短脉冲激光器(1，30)用于输出波长满足266-2000nm的超短脉冲激光；

所述连续激光器(11，44)用于输出波长满足266-2000nm的连续激光。

7.如权利要求1所述激光复合切割分离透明脆性材料的装置，其特征在于，所述xy两维工作台(18，43)能够带动所述待处理的透明脆性材料以速率不低于100mm/s的速度移动。