[实用新型]一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置

权利要求书

1.一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置，其特征在于：包括电泵、水洗箱、碱洗箱和外延生长设备过滤器，水洗箱内装有清水，碱洗箱内装有碱液，该电泵的进口与一分叉进路连接，电泵的出口通过一清洗总进路与所述外延生长设备过滤器连接，该外延生长设备过滤器又通过一清洗总出路与一分叉出路连接，其中，分叉进路包括水洗进路和碱洗进路，水洗进路与所述水洗箱的出口连接，碱洗进路与所述碱洗箱的出口连接，分叉出路包括水洗出路和碱洗出路，水洗出路与所述水洗箱的进口连接，碱洗出路与所述碱洗箱的进口连接，所述水洗进路上设有水洗进路阀，所述碱洗进路上设有碱洗进路阀，水洗出路上设有水洗出路阀，碱洗出路上设有碱洗出路阀。

2.根据权利要求1所述的一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置，其特征在于：所述碱洗进路与所述清洗总进路之间还并联连接有清洗液回收进路，该清洗总进路与所述碱洗出路之间并联连接有清洗液回收出路。

3.根据权利要求2所述的一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置，其特征在于：所述清洗液回收进路上设有第一清洗液回收阀，所述清洗液回收出路上设有第二清洗液回收阀。

4.根据权利要求2所述的一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置，其特征在于：清洗总进路与所述清洗液回收出路并联的部分处设有清洗控制阀。

5.根据权利要求1所述的一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置，其特征在于：所述水洗箱内设有水洗收集滤芯，碱洗箱内设有碱洗收集滤芯。

6.根据权利要求1所述的一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置，其特征在于：所述水洗箱的底部和碱洗箱的底部均设有收集桶。

7.根据权利要求1所述的一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置，其特征在于：所述清洗总进路通过一软管与所述外延生长设备过滤器连接。

8.根据权利要求1所述的一种用于外延生长设备用滤芯的MO源回收处理装置，其特征在于：所述水洗箱的出口处设有出口阀。