[实用新型]一种中大型MO源圆柱型钢瓶

说明书

本实用新型公开了中大型MO源圆柱型钢瓶，其特征在于，包括设有MO源封装空间且呈圆柱状的钢瓶本体，钢瓶本体上端部分别设有与MO源封装空间连通的进气管和出气管，同时进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀，其中，钢瓶本体底部内侧壁采用弧型曲面，且进气管的出口与弧型曲面中心对应配合，用于在钢瓶本体底部形成高效鼓泡对流区域；MO源封装空间的体积范围在5000‑10000mL；本实用新型在保持钢瓶外观为圆柱状的前提下，通过对钢瓶本体底部内侧壁进行改进，可以有效提高MO源的供给饱和度，确保后续实施应用时的使用效果。

技术领域

本实用新型属于MO源封装容器技术领域，具体涉及了一种中大型MO源圆柱型钢瓶。

背景技术

MO源(Metalorganic Source)是指MOCVD外延技术中作为基本材料使用的高纯金属有机化合物(典型的主要材料包括三甲基镓、三乙基镓、三甲基铟、三乙基铟、三甲基铝等)，在外文文献中，MO源通常也被称为“MOCVD的前体物”，目前被广泛应用于LED外延片制造行业中。

如公开号为CN109852948A的中国发明专利在背景技术中的记载内容，由于MO元需要存储在具有高洁净度以及高度封装效果且同时有惰性气体保护的MO钢瓶供给设备中。如CN109852948A进一步提及，由于MO源在存储罐中的晶型尺寸、堆积度和物料高度等因素均会影响MO源钢瓶的MO源浓度，也可称为MO源供给饱和度，进而严重影响MO源在实施应用时的使用效果。

因此，市场迫切寻求技术方案对以上技术问题进行改进。同时，基于本申请发明人在MO源钢瓶产品领域的多年专注研究以及所累积的开发经验，决定针对各种不同体积规格的MO源钢瓶分别提出对应解决方案，进而改善MO源钢瓶存在的流量饱和度问题。

发明内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于提供一种中大型MO源圆柱型钢瓶，在保持钢瓶外观为圆柱状的前提下，通过对钢瓶本体底部内侧壁进行改进，可以有效提高MO源的供给饱和度，确保后续实施应用时的使用效果。

本实用新型采用的技术方案如下：

一种中大型MO源圆柱型钢瓶，包括设有MO源封装空间且呈圆柱状的钢瓶本体，所述钢瓶本体上端部分别设有与所述MO源封装空间连通的进气管和出气管，同时所述进气管和出气管上分别安装有进气阀和出气阀，其中，所述钢瓶本体底部内侧壁采用弧型曲面，且所述进气管的出口与所述弧型曲面中心对应配合，用于在所述钢瓶本体底部形成高效鼓泡对流区域；所述MO源封装空间的体积范围在5000-10000mL。

优选地，所述弧型曲面包括位于中心的平面单元和位于平面单元外周的弧型曲面单元，其中，所述弧型曲面外径是所述平面单元直径的3.5-6倍。

优选地，所述钢瓶本体高度是所述钢瓶本体外径的1.8-3倍。

优选地，所述进气管包括固定密封连接为一体且位于所述MO源封装空间外部的外进气管段以及位于所述MO源封装空间内部的内进气管段，其中，所述内进气管段包括位于上方的第一竖直部和位于下方的第二竖直部，所述第一竖直部与所述第二竖直部之间通过弯折部一体连接，且所述第二竖直部的出口位于所述弧型曲面的中心轴线上且与所述弧型曲面中心对应配合，用于在所述钢瓶本体底部形成高效鼓泡对流区域。

优选地，所述第二竖直部长度是第一竖直部长度的4-8倍。

优选地，位于所述进气管和出气管之间的所述钢瓶本体上端部还设有压力传感器接头，用于检测所述MO源封装空间内的MO源流量压力；同时所述压力传感器接头的中心轴线与所述弧型曲面的中心轴线重合。

优选地，所述进气阀中心轴线和所述出气阀中心轴线之间的气阀夹角范围为10-30度，且所述外进气管段和所述出气管均呈竖直状。