[实用新型]一种单晶提拉炉的加热装置

权利要求书

1.一种单晶提拉炉的加热装置，包括石墨加热器（1），其特征在于，所述石墨加热器（1）的内壁放置有石英坩埚（2），所述石墨加热器（1）通过合页连接有上盖（4），所述上盖（4）设有热气循环槽，所述热气循环槽内固定装设有两个风扇（10），所述两个风扇（10）之间固定有进气窗口（11），所述石墨加热器（1）的外壁固定包裹有隔热层（3），所述隔热层（3）的下方设置有凸轮机槽，所述凸轮机槽的内部固定有电机（15），所述电机（15）输出端固定连接有凸轮（16），所述凸轮机槽的上壁插设有支撑杆（14），所述支撑杆（14）底端固定连接有滑动于凸轮机槽左右两壁之间的隔板，所述凸轮（16）与隔板底壁相抵，所述隔热层（3）的下方转动连接有支杆（6），所述支杆（6）的左侧壁固定连接有弧形槽，所述弧形槽内插设有弧形杆（9），所述弧形杆（9）的一端与左侧的隔热层（3）外壁固定连接，所述弧形杆（9）插设在弧形槽内的一端固定连接有推板（8），所述推板（8）远离弧形杆（9）的一端固定连接有第一压缩弹簧（7）。

2.根据权利要求1所述的一种单晶提拉炉的加热装置，其特征在于，所述上盖（4）的底壁固定有滤网（5）。

3.根据权利要求1所述的一种单晶提拉炉的加热装置，其特征在于，所述隔热层（3）包括隔热保温层和不锈钢盖板，所述隔热保温层置于不锈钢盖板内。

4.根据权利要求1所述的一种单晶提拉炉的加热装置，其特征在于，所述上盖（4）的外顶壁上喷涂特氟龙层。

5.根据权利要求1所述的一种单晶提拉炉的加热装置，其特征在于，所述上盖（4）底壁固定有插块，所述石墨加热器（1）设有与插块大小位置匹配的插槽，所述隔热层（3）的左侧壁插设有T型插杆（13）并贯穿石墨加热器（1）的左侧壁延伸至插槽内。

6.根据权利要求5所述的一种单晶提拉炉的加热装置，其特征在于，所述石墨加热器（1）的左侧壁设有推拉槽，所述T型插杆（13）的外壁上套设有第二压缩弹簧（12），所述T型插杆（13）的外壁上固定有挡板，所述第二压缩弹簧（12）的两端分别与推拉槽的左侧壁和挡板的左侧壁固定连接。