[实用新型]一种单晶炉提拉旋转驱动装置

说明书

本实用新型公开了一种单晶炉提拉旋转驱动装置，包括安装板，所述安装板上端固定连接有驱动箱，所述安装板中部竖直贯穿设有转筒，且转筒通过固定轴承与安装板转动连接，所述转筒内插设有提拉杆，所述提拉杆的下端固定连接有连接体，所述安装板上端面设有用于驱动转筒转动的旋转机构，所述驱动箱的内顶部固定安装有第二电机，所述第二电机输出轴末端固定连接有卷盘，所述卷盘上连接有钢丝绳，所述钢丝绳的自由端固定连接有横杆，所述提拉杆的上端贯穿横杆并与其转动连接，所述驱动箱相对的两个内壁上均设有导向槽。本实用新型有效保证单晶炉提拉旋转的平稳，保证成品生产质量。

技术领域

本实用新型涉及单晶炉技术领域，尤其涉及一种单晶炉提拉旋转驱动装置。

背景技术

单晶炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中,用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化,用直拉法生长无错位单晶的设备，单晶硅炉包括硅半导体材料生长合成的主炉室、位于主炉室上端的硅籽晶提升结构和电控自动糸统。

传统的单晶硅炉的硅籽晶提拉、旋转，一般结构复杂，旋转提拉稳定性差，造成产品正品率低，使用制作成本高。

实用新型内容

本实用新型的目的是为了解决现有技术中存在的缺点，而提出的一种单晶炉提拉旋转驱动装置。

为了实现上述目的，本实用新型采用了如下技术方案：

一种单晶炉提拉旋转驱动装置，包括安装板，所述安装板上端固定连接有驱动箱，所述安装板中部竖直贯穿设有转筒，且转筒通过固定轴承与安装板转动连接，所述转筒内插设有提拉杆，所述提拉杆的下端固定连接有连接体，所述安装板上端面设有用于驱动转筒转动的旋转机构，所述驱动箱的内顶部固定安装有第二电机，所述第二电机输出轴末端固定连接有卷盘，所述卷盘上连接有钢丝绳，所述钢丝绳的自由端固定连接有横杆，所述提拉杆的上端贯穿横杆并与其转动连接，所述驱动箱相对的两个内壁上均设有导向槽，两个所述导向槽内均设有导向机构，所述横杆的两端分别连接在两个导向机构上。

优选地，所述旋转机构包括固定安装在安装板上端面的第一电机，所述第一电机输出轴的末端固定连接有齿轮，所述转筒上固定套接有齿圈，且齿圈与齿轮啮合。

优选地，所述导向机构包括竖直设置在导向槽内的导向杆，所述导向杆的上下两端均固定连接在导向槽的内壁上，两个所述导向杆上均滑动套接有滑套，所述横杆的两端分别固定连接在两个滑套上。

优选地，所述提拉杆的上端固定连接有限位块，所述提拉杆上套设有推力轴承，且推力轴承位于限位块与横杆之间。

优选地，所述第一电机与第二电机均为伺服电机。

优选地，所述转筒内壁与提拉杆横截面为相互适配的矩形结构。

本实用新型的有益效果：

通过设置第二电机、卷盘、钢丝绳、横杆、提拉杆，启动第二电机，驱动卷盘转动，即可通过钢丝绳将横杆在竖直方向上进行提拉，且运转更平稳。

通过设置旋转机构，启动第一电机，驱动齿轮转动，由于齿轮与齿圈啮合，进而驱动转筒转动，由于转筒内壁与提拉杆的截面均为矩形结构，进而通过转筒带动提拉杆转动，驱动提拉杆旋转，即可实现在提拉杆上竖向提拉时，对其进行平稳在转动，进而有效保证单晶炉提拉旋转的平稳，保证成品生产质量。

附图说明

图1为本实用新型提出的一种单晶炉提拉旋转驱动装置的结构示意图；

图2为图1中A处放大图；

图3为本实用新型提出的一种单晶炉提拉旋转驱动装置的转筒与提拉杆横截面的结构示意图。