[实用新型]蒸发镀膜系统有效

专利信息
申请号: 201921228795.6 申请日: 2019-07-30
公开(公告)号: CN210856318U 公开(公告)日: 2020-06-26
发明(设计)人: 王君;闫超颖;粱惠朋;汪友林 申请(专利权)人: 沈阳爱科斯科技有限公司
主分类号: C23C14/24 分类号: C23C14/24;C23C14/56
代理公司: 北京超凡宏宇专利代理事务所(特殊普通合伙) 11463 代理人: 张伟
地址: 110000 辽宁省*** 国省代码: 辽宁;21
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摘要:
搜索关键词: 蒸发 镀膜 系统
【说明书】:

本申请涉及真空镀膜技术领域,尤其是涉及一种蒸发镀膜系统,一种蒸发镀膜系统包括蒸发镀膜单元以及抽真空装置,蒸发镀膜单元设置有多个,多个蒸发镀膜单元分别通过管道与抽真空装置连通;各管道上分别设置有阀门组件,且用于控制蒸发镀膜单元与抽真空装置的连通与否。本申请中蒸发镀膜单元设置有多个,分别通过管道与抽真空装置连接,即利用一个抽真空装置可以同时对多个蒸发镀膜单元抽真空,从而提高蒸发镀膜的效率。另外,相比于现有技术中一个蒸发镀膜单元与一个抽真空装置配套使用,本申请不仅节省了设备成本,而且节省了占地面积。

技术领域

本申请属于真空镀膜技术领域,尤其是涉及蒸发镀膜系统。

背景技术

蒸发镀膜装置在进行蒸发镀膜的过程中,首先需要对蒸发镀膜装置进行抽真空处理,现有技术中的蒸发镀膜装置与抽真空装置一一对应配合使用,即一个抽真空装置只为一个蒸发镀膜装置进行抽真空,因此抽真空装置的利用率低;且当设置多个蒸发镀膜装置时,由于每个蒸发镀膜装置配设一个抽真空装置,因此设备成本高、占地面积大。

实用新型内容

本申请的目的在于提供一种蒸发镀膜系统,在一定程度上以解决现有技术中,蒸发镀膜系统的抽真空装置利用率低,且设备成本高、占地面积大的技术问题。

本申请提供一种蒸发镀膜系统,包括蒸发镀膜单元以及抽真空装置;

所述蒸发镀膜单元设置有多个,多个所述蒸发镀膜单元分别通过管道与所述抽真空装置连通;各所述管道上分别设置有阀门组件,且用于控制所述蒸发镀膜单元与所述抽真空装置的连通与否。

在上述方案中,进一步地,多个所述蒸发镀膜单元环绕所述抽真空装置设置。

在上述方案中,进一步地,所述蒸发镀膜单元包括镀膜室以及设置在所述镀膜室底部的冷凝泵,所述冷凝泵与所述镀膜室相连通。

在上述方案中,进一步地,所述抽真空装置包括旋片泵以及罗茨泵;

所述旋片泵的连接端口上设置有第一管接件,所述旋片泵通过所述第一管接件与所述罗茨泵的第一连接端口相连通;所述罗茨泵的第二连接端口上设置有第二管接件,所述第二管接件上设置有多个镀膜室接口,多个所述镀膜室接口一一对应地连通多个所述镀膜室。

在上述方案中,进一步地,所述第一管接件上设置有多个管接接口,其中一个所述管接接口通过管道与所述罗茨泵相连通,其余所述管接接口一一对应连通地连通多个所述冷凝泵。

在上述方案中,进一步地,所述冷凝泵与所述镀膜室的连接处设置有气动插板阀,所述气动插板阀用于控制所述冷凝泵与所述镀膜室的连通与否。

在上述方案中,进一步地,每个所述镀膜室的底部的所述冷凝泵的数量为多个。

在上述方案中,进一步地,本申请还包括支撑组件,所述支撑组件设置在所述镀膜室的下方,用于支撑所述镀膜室;

所述支撑组件内形成有容纳空间,所述容纳空间用于容纳所述冷凝泵。

在上述方案中,进一步地,所述镀膜室内部设置有电子枪、坩埚组件以及加热件;

所述坩埚组件用于盛装镀膜物料;所述电子枪设置在所述坩埚组件的一侧,用于向所述坩埚组件内的物料发射电子束;所述加热件用于加热所述坩埚组件。在上述方案中,进一步地,所述镀膜室内设置有旋转架,所述旋转架用于承载待铸件并带动待铸件旋转;

所述旋转架包括固定轴以及设置在所述固定轴上的承载件,所述待铸件能够悬挂于所述承载件上。

与现有技术相比较,本申请的有益效果在于:

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