[实用新型]一种三维扫描光学显微镜

权利要求书

1.一种三维扫描光学显微镜，包括主体，其特征在于：还包括安装在主体上的三维扫描光学成像结构，三维扫描光学成像结构包括：

准直透镜，用于准直来自激光输入光纤输出的激光以及减少不同频率激光之间的色差并输出激光信号；

第一二向色镜扫描器，用于将激光和非线性光学信号分开以及输出非线性光学信号，还用于改变激光的入射角角度让激光对活体样本内部组织的平面进行二维点扫描；

物镜，用于将来自第一二向色镜扫描器的激光会聚到活体样本内部，以激发活体样本产生非线性光学信号以及用于输出非线性光学信号；

收集透镜，用于收集非线性光学信号并输入激光输出光纤；

第二二向色镜扫描器，用于进行远端Z轴扫描，实现三维成像；

聚焦透镜，用于激光聚焦；

波片：用于改变激光的偏振方向；

其中，按照光路设置顺序依次为准直透镜、第一二向色镜扫描器、物镜、聚焦透镜、波片、第二二向色镜扫描器与收集透镜。

2.根据权利要求1所述的一种三维扫描光学显微镜，其特征在于：所述准直透镜和第一二向色镜扫描器之间的光路上设有反射镜，反射镜用于调整准直透镜输出激光的角度并反射至第一二向色镜扫描器。

3.根据权利要求2所述的一种三维扫描光学显微镜，其特征在于：所述第一二向色镜扫描器包括第一二向色镜片和不影响非线性光学信号透射的环形的第一微机电驱动器，第一二向色镜片覆盖于环形的第一微机电驱动器上。

4.根据权利要求3所述的一种三维扫描光学显微镜，其特征在于：所述第一二向色镜片为偏振敏感型，用于反射S型偏振光，透射p型偏振光。

5.根据权利要求4所述的一种三维扫描光学显微镜，其特征在于：所述第一二向色镜扫描器的晶圆的背面用蚀刻技术掏空有用于非线性光学信号透射过的第一透射孔，第一透射孔位于第一二向色镜片背面，第一二向色镜扫描器位于物镜的后焦平面。

6.根据权利要求2所述的一种三维扫描光学显微镜，其特征在于：所述第二二向色镜扫描器包括第二二向色镜片和不影响非线性光学信号透射的环形的第二微机电驱动器，第二二向色镜片覆盖于环形的第二微机电驱动器上。

7.根据权利要求6所述的一种三维扫描光学显微镜，其特征在于：所述第二二向色镜扫描器的晶圆的背面用蚀刻技术掏空有用于非线性光学信号透射过的第二透射孔，第二透射孔位于第二二向色镜背面，第二二向色镜扫描器位于聚焦透镜的后焦平面。

8.根据权利要求1至7中任意一项所述的一种三维扫描光学显微镜，其特征在于：还包括激光输入光纤和激光输出光纤，激光输入光纤为大模场单模光纤、保偏光纤或光子晶体光纤，激光输出光纤为光纤束或多模光纤。

9.根据权利要求8所述的一种三维扫描光学显微镜，其特征在于：还包括外壳，聚焦透镜、准直透镜、收集透镜、第一二向色镜扫描器、波片、第二二向色镜扫描器、物镜以及反射镜均安装于外壳内。