[实用新型]擦拭装置

说明书

该实用新型涉及一种擦拭装置，包括：安装条，表面设置有导轨，用于将所述导轨固定到待擦拭的阀门表面；至少一个擦拭条，安装至所述导轨，并能够沿所述导轨的长度方向运动，且在所述安装条安装至所述阀门表面时，所述擦拭条与所述阀门表面相接触。以上擦拭装置具有导轨以及安装在导轨上、能沿所述导轨的长度方向运动的擦拭条，因此易操作，清洁彻底；擦拭过程中掉落的颗粒物杂质不会掉落在腔室内形成二次污染，并且还消除了擦拭过程中真空阀门夹手的风险。

技术领域

本实用新型涉及适用于晶圆生产加工设备领域，具体涉及一种擦拭装置。

背景技术

现有的清洁真空阀门(slit valve door)的方法，只能手动进行擦拭，而且必要时要拆卸下真空阀门才能进行清理。使用现有技术中的擦拭方法，存在以下几个缺点：擦拭真空阀表面时人工难以触摸且不易操作，造成清洁不够彻底；擦拭过程中平时极难掉落的颗粒物杂质易掉落在腔室里面，形成二次污染；在擦拭过程中真空阀门还存在夹手的风险。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种擦拭装置，能够优化对真空阀门的擦拭效果，防止擦拭过程中真空阀门表面的颗粒物杂质掉落到腔体内，并且能够有效防止真空阀门夹手。

为解决上述技术问题，本实用新型中提供了一种擦拭装置，包括：安装条，表面设置有导轨，用于将所述导轨固定到待擦拭的阀门表面；至少一个擦拭条，安装至所述导轨，并能够沿所述导轨的长度方向运动，且在所述安装条安装至所述阀门表面时，所述擦拭条与所述阀门表面相接触。

可选的，所述安装条的长度大于等于所述导轨的长度，且所述导轨的长度方向与所述阀门的长度方向相同。

可选的，所述安装条的数目为两条，用于分别安装到所述阀门的上表面和下表面。

可选的，安装至所述阀门的上表面和下表面的两条安装条平行设置，且所述两条安装条表面的导轨相互平行。

可选的，所述擦拭条朝向所述阀门的一侧设置有无尘布和砂纸中的至少一种。

可选的，所述两条安装条通过连接件相互连接，固定至所述阀门表面。

可选的，所述擦拭条中空，且朝向所述阀门的一侧设置有通孔。

可选的，还包括：鼓风机，连通至所述擦拭条内部，用于通过所述通孔朝所述阀门鼓风，以扬起所述阀门表面的颗粒物杂质；抽气泵，连通至所述擦拭条内部，用于通过所述通孔抽取所述阀门与擦拭条之间的气体，从而清理所述阀门与擦拭条之间的颗粒物杂质。

可选的，还包括：驱动器，连接至所述擦拭条，用于驱动所述擦拭条沿所述导轨的长度方向运动；控制器，连接至所述驱动器，用于控制所述驱动器驱动所述擦拭条。

可选的，所述驱动器包括：驱动马达，连接至所述控制器，接受所述控制器的控制，且所述驱动马达连接至所述擦拭条；计步器，连接至所述控制器，用于计量所述驱动马达驱动所述擦拭条的路程。

以上擦拭装置具有导轨以及安装在导轨上、能沿所述导轨的长度方向运动的擦拭条，因此易操作，清洁彻底；擦拭过程中掉落的颗粒物杂质不会掉落在腔室内形成二次污染，并且还消除了擦拭过程中真空阀门夹手的风险。

附图说明

图1为本实用新型的一种具体实施方式中的擦拭装置的正面结构示意图。

图2为本实用新型的一种具体实施方式中的擦拭装置的擦拭条的结构示意图。

图3为本实用新型的一种具体实施方式中的擦拭装置的侧面结构示意图。

具体实施方式

以下结合附图和具体实施方式对本实用新型提出的一种擦拭装置作进一步详细说明。