[实用新型]一种大尺寸、高沉积速率光纤预制棒制造用喷灯有效
申请号: | 201921237697.9 | 申请日: | 2019-08-02 |
公开(公告)号: | CN210457965U | 公开(公告)日: | 2020-05-05 |
发明(设计)人: | 马三宝;吴仪温;张文其;田炜;孙林栋;韩圆;魏志鹏;姬世诚 | 申请(专利权)人: | 杭州永特信息技术有限公司 |
主分类号: | C03B37/018 | 分类号: | C03B37/018;C03B37/014 |
代理公司: | 北京科亿知识产权代理事务所(普通合伙) 11350 | 代理人: | 田相迪 |
地址: | 311401 浙江省杭州市富*** | 国省代码: | 浙江;33 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 尺寸 沉积 速率 光纤 预制 制造 喷灯 | ||
本实用新型公开了一种大尺寸、高沉积速率光纤预制棒制造用喷灯,包括喷灯本体,喷灯本体呈多层同心套管结构,包括由内向外依次设置的原料中心管、原料中间管和原料外层管、内保护气体管和外保护气体管。该喷灯设计合理,用该喷灯并结合不同沉积阶段所需不同的流量气体、原料进行供给,可有效的提高了沉积速率及原材料利用率,同时该实用新型制备的光纤预制棒疏松体密度分布均匀、疏松体直径波动小,可有效提高预制棒的质量。
技术领域:
本实用新型涉及制造技术检测领域,特别是一种大尺寸、高沉积速率光纤预制棒制造用喷灯。
背景技术:
随着光通讯产业的飞速发展,光纤市场的竞争也愈加激烈,为降低光纤制造成本,提高企业市场竞争力,制造大尺寸光纤预制棒已经成为国内光纤企业发展的必然方向。当前光纤企业制造光纤预制棒的技术方法主要为:管外气相沉积法(OVD)、轴向气相沉积法(VAD)、等离子体化学汽相沉积法(PCVD)、改进化学汽相沉积法(MCVD)及其组合,MCVD+OVD,VAD+OVD等。其中OVD及其组合法因沉积速率高、沉积外径不受限制已成为大尺寸、高沉积速率光纤预制棒制备的主流方向,而该方法往往由于喷灯结构与沉积过程中燃烧气体、助燃气体流量的不匹配使得原材料无法充分反应,导致沉积速率和原材料利用率较低。
为了提高光纤预制棒的产能,必须提升沉积速率。当前为了提高沉积效率往往采用多喷灯结构设计,如“多喷灯制备疏松体光纤预制棒的方法(CN104909556B)”专利技术,采用多喷灯结构(5~15个喷灯)虽然有效的提高沉积速率,但是沉积速率的增加则导致了沉积效率的降低,使得光纤预制棒的生产成本增加。同时沉积效率的降低使沉积仓体内未沉积到疏松体表面的二氧化硅颗粒增加,使得疏松体烧结后在预制棒内存在气泡、白点。又如“一种合成大直径光纤预制棒疏松体的方法及装置(CN104176926B)”专利技术,沉积过程中切换大小口径喷灯,虽然可以有效提高四氯化硅转化率及沉积速率,但由于两种口径喷灯的差异性切换时必然导致气体流量、火焰温度有较大的差异,使得切换时产生的二氧化硅粉末颗粒分布、堆积密度有较大的差别易导致沉积过程中疏松体开裂。
实用新型内容:
本实用新型所要解决的技术问题是,提供一种大尺寸、高沉积速率光纤预制棒制造用喷灯,该喷灯结构与沉积过程中燃烧气体、助燃气体流量适配性好使得原材料可以充分反应,从而使得制备的光纤预制棒疏松体具有四氯化硅转化率高、沉积速率高、密度分布均匀、疏松体直径波动小等优点。
本实用新型的技术解决方案是,提供一种大尺寸、高沉积速率光纤预制棒制造用喷灯,包括喷灯本体,其特征在于:喷灯本体呈多层同心套管结构,包括由内向外依次设置的原料中心管、原料中间管和原料外层管、内保护气体管和外保护气体管,其中,外保护气体管为实心管,外保护气管围绕内保护气体管具有多层环形分布气孔,多层环形分布气孔由内到外依次为内层燃烧气体喷孔、外层燃烧气体喷孔和外保护气体喷孔,并且所述的原料中心管、原料中间管和原料外层管分别构成用于流通四氯化硅蒸汽和运载氧气的沿出口方向的直线通路,所述内保护气体管和外保护气体喷孔分别构成用于流通氧气的沿出口方向的直线通路,内层燃烧气体喷孔、外层燃烧气体喷孔分别构成用于流通甲烷和氧气的沿出口方向的直线通路。
作为优选,内层燃烧气体喷孔、外层燃烧气体喷孔和外保护气体喷孔其路径分别沿外保护气体管长度方向设置。
通过该喷灯结构,在制造大尺寸、高沉积速率光纤预制棒时,在沉积阶段前期仅供给原料中心管四氯化硅蒸气和运载氧气,内保护气体喷管通入氧气以提高火焰焰芯来防止喷灯口堵塞,内层燃烧气体喷孔和外层燃烧气体喷孔通入高流量的甲烷和氧气混合气体产生高温火焰,并与四氯化硅蒸气水解反应生成二氧化硅粉尘微粒,同时外保护气体喷孔通入高流量氧气以提高火焰温度,使疏松体在温度梯度的作用下迅速长大;当疏松体直径的增长到目标直径1/5~1/4时,混合的四氯化硅蒸气和运载氧气开始向原料中间管供给,同时内保护氧气流量增大;当疏松体直径的增长到目标直径1/2~1/3时,混合的四氯化硅蒸气和运载氧气开始向原料外层管供给,而喷灯则始终采用高温;火焰以提高四氯化硅的转化率及沉积速率。
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