[实用新型]一种载板安装架组件及载板搬运机构

说明书

本申请提供了一种载板安装架组件及载板搬运机构，所述的载板安装架包括位于左右两侧的侧架，左右两侧的侧架之间设置有上下两侧框架，两个框架上分别安装有一抽屉架，所述的抽屉架能够相对所述的框架抽出，所述的抽屉架包括一沿Y向设置的横杆、多个一端部固定安装在横杆上的沿X向设置的纵杆、通过一线性导轨组件与所述的纵杆滑动连接的沿X向设置的固定杆，所述的线性导轨组件沿X向设置。本申请的一种载板安装架组件及载板搬运机构，能够实现一次搬运两个载板，提高了工作效率。

技术领域

本申请涉及硅片生产领域，具体涉及一种载板安装架组件及载板搬运机构。

背景技术

硅片是太阳能电池片的载体，硅片质量的好坏直接决定了太阳能电池片转换效率的高低，太阳能电池需要一个大面积的PN结以实现光能到电能的转换，而扩散炉即为制造太阳能电池PN结的专用设备。管式扩散炉主要由石英舟的上下载部分、废气室、炉体部分和气柜部分等四大部分组成。扩散一般用三氯氧磷液态源作为扩散源。把P型硅片放在管式扩散炉的石英容器内，在850---900摄氏度高温下使用氮气将三氯氧磷带入石英容器，通过三氯氧磷和硅片进行反应，得到磷原子。经过一定时间，磷原子从四周进入硅片的表面层，并且通过硅原子之间的空隙向硅片内部渗透扩散，形成了N型半导体和P型半导体的交界面，也就是PN结。在硅片加工过程中，需要将硅片输送至工作位置，加工完成后再下料。现有技术中，通常将硅片放入载板中，再将载板运输至下一个工位。

发明内容

本申请要解决的技术问题是提供一种能够实现一次搬运两个载板的载板安装架组件及载板搬运机构。

为了解决上述技术问题，本申请提供了一种载板安装架组件，所述的载板安装架包括位于左右两侧的侧架，左右两侧的侧架之间设置有上下两侧框架，两个框架上分别安装有一抽屉架，所述的抽屉架能够相对所述的框架抽出，所述的抽屉架包括一沿Y向设置的横杆、多个一端部固定安装在横杆上的沿X向设置的纵杆、通过一线性导轨组件与所述的纵杆滑动连接的沿X向设置的固定杆，所述的线性导轨组件沿X向设置。

优选地，所述的线性导轨组件包括与所述的纵杆固定连接的第一线性导轨、与所述的固定杆固定连接的第二线性导轨，所述的第一线性导轨与所述的第二线性导轨可滑动设置。

优选地，左右两侧的侧架的上均安装有多个传感器，多个传感器分为上下两层。

优选地，所述的纵杆的上表面还安装有多个用于支撑载板的支撑块，所述的纵杆的自由端部安装有第一定位块，多个纵杆总位于外侧的纵杆的根部安装有第二定位块，多个所述的第一定位块和第二定位块对所述的载板起到限位作用，所述的第一定位块具有向上凸起的沿 Y向延伸的限位边，所述的第二定位块具有两条向上凸起的分别沿X 向和Y向的限位边。

优选地，所述的框架包括两条沿X向设置的第一边框、两条沿Y 向设置的第二边框，两条第一边框和两条第二边框首尾连接，组成一矩形框架，所述的框架还包括沿X向设置的两端部连接在第二边框上的多个连接杆，多个所述的固定杆与多个所述的连接杆一一对应设置，且所述的固定杆与所述的连接杆通过多个固定件相固定连接。

优选地，所述的连接杆上设置有多个升降汽缸，所述的升降汽缸能够向上将载板托起。

本申请还提供一种载板搬运机构，所述的载板搬运机构包括所述的一种载板安装架组件，所述的载板搬运机构包括轨道组件，所述的载板安装架组件安装在导轨组件上且能够沿导轨组件滑动。

优选地，所述的轨道组件包括一沿Y向延伸设置的直线电机、与所述的直线电机平行的分别设置在直线电机两侧的两个滑轨。

优选地，所述的轨道组件上设置有一移动架，所述的移动架下侧固定安装有两个能够分别沿两个滑轨滑动的滑动块、在所述的直线电机的驱动下移动的移动块，所述的载板安装架安装在移动架上。

本申请的一种载板安装架组件及载板搬运机构，能够实现一次搬运两个载板，提高了工作效率。