[实用新型]一种压力传感结构和压力传感器有效

专利信息
申请号: 201921241586.5 申请日: 2019-07-30
公开(公告)号: CN210863016U 公开(公告)日: 2020-06-26
发明(设计)人: 彭章军;赵学堂;严子光 申请(专利权)人: 精量电子(深圳)有限公司
主分类号: G01L7/08 分类号: G01L7/08;G01L19/06
代理公司: 深圳中一联合知识产权代理有限公司 44414 代理人: 郑浩旋
地址: 518107 广东省深圳市南山区高*** 国省代码: 广东;44
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摘要:
搜索关键词: 一种 压力 传感 结构 压力传感器
【权利要求书】:

1.一种压力传感结构,其特征在于,包括:

压力膜,包括隔膜部和连接于所述隔膜部的一侧的传导部,所述隔膜部的另一侧用于感测压力;

支撑件,包括本体部和设置在所述本体部一端的横梁,所述本体部与所述隔膜部连接,所述传导部与所述横梁固定连接且用于将所述隔膜部受到的压力传导至所述横梁;以及

应变片,设置于所述横梁上背对所述隔膜部的一侧,用于输出压力信号。

2.如权利要求1所述的压力传感结构,其特征在于,所述本体部远离所述横梁的一端与所述隔膜部连接。

3.如权利要求1所述的压力传感结构,其特征在于,所述压力膜还包括加强环,所述隔膜部通过所述加强环与所述本体部连接,所述隔膜部内接于所述加强环的一端。

4.如权利要求3所述的压力传感结构,其特征在于,所述加强环与所述本体部通过焊接的方式连接。

5.如权利要求1所述的压力传感结构,其特征在于,所述横梁包括呈十字形分布的四条梁臂,以及设置于四条所述梁臂交叉处且与所述传导部配合连接的承接部。

6.如权利要求5所述的压力传感结构,其特征在于,所述应变片数量为两个,且两个所述应变片分别设置于四条所述梁臂中位置相对的两条所述梁臂上。

7.如权利要求5所述的压力传感结构,其特征在于,所述应变片通过玻璃高温烧结的方式连接在所述横梁上。

8.如权利要求5所述的压力传感结构,其特征在于,所述应变片为压阻应变片。

9.如权利要求5所述的压力传感结构,其特征在于,所述承接部开设有内壁光滑的内孔,所述传导部包括与所述内孔配合的顶杆,所述顶杆靠近所述横梁的一端焊接于所述内孔的内壁。

10.如权利要求9所述的压力传感结构,其特征在于,所述内孔为螺纹孔,所述顶杆为与所述螺纹孔配合的螺纹顶杆。

11.如权利要求1-10任一项所述的压力传感结构,其特征在于,所述隔膜部的外表面为平整表面。

12.如权利要求1-10任一项所述的压力传感结构,其特征在于,所述隔膜部的厚度大于所述横梁的厚度。

13.如权利要求12所述的压力传感结构,其特征在于,所述隔膜部的厚度在0.5毫米到3毫米之间。

14.如权利要求13所述的压力传感结构,其特征在于,所述隔膜部的厚度在2毫米到3毫米之间。

15.如权利要求12所述的压力传感结构,其特征在于,还包括连接于所述横梁背对所述隔膜部的一侧的连接线路板,所述连接线路板与所述应变片电连接。

16.一种压力传感器,其特征在于,包括外壳、信号处理组件和如权利要求1-14任一项所述的压力传感结构,所述压力传感结构固定且密封连接在所述外壳的一端,所述信号处理组件设置于所述外壳内且用于接收和处理应变片的压力信号。

17.如权利要求16所述的压力传感器,其特征在于,所述信号处理组件包括连接于所述横梁背对所述隔膜部的一侧的测量线路板,所述测量线路板与所述应变片电连接。

18.如权利要求17所述的压力传感器,其特征在于,所述信号处理组件还包括补偿放大线路板,所述补偿放大线路板与所述测量线路板电连接并设有信号放大电路。

19.如权利要求18所述的压力传感器,其特征在于,所述支撑件远离所述压力膜的一端固定连接所述外壳。

20.如权利要求19所述的压力传感器,其特征在于,所述压力传感器还包括连接端子,所述连接端子密封连接在所述外壳远离压力传感结构所述的另一端,用于将所述压力传感器连接在进行压力测量位置并输出传感信号。

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