[实用新型]质谱检漏设备

说明书

本实用新型提供一种质谱检漏设备，用于检测待测箱体的气密性，质谱检漏设备包括：支撑架、真空腔体、升降机构、抽气机构、示踪气体源、充气机构、质谱检漏装置及控制装置。真空腔体设置为至少两个，且各真空腔体均放置在支撑架上，各真空腔体内设置有用于容纳待测箱体的容纳腔。升降机构设用于分别驱动所对应的各真空腔体的结合与分离。示踪气体源用于向待测箱体提供示踪气体。质谱检漏装置与真空腔体导通连接，用于检测容纳腔内的示踪气体含量，从而判断待测箱体是否合格。控制装置与升降机构、抽气机构、示踪气体源、充气机构及质谱检漏装置电连接以控制各自的工作。本实用新型质谱检漏设备的检漏耗时减少，工作效率提高。

技术领域

本实用新型涉及箱体密封性检测技术领域，尤其涉及质谱检漏设备。

背景技术

质谱检漏技术已在科研和工业部门得到广泛应用,其主要优点是可在各种检测工况条件下实现泄漏率的定量检测,且其检漏分辨率高、测量范围广,特别适用于微小泄漏率的精确测定。然而现有技术的质谱检漏设备由于只设有一个真空腔体，因此，每次检漏操作只能针对一个待测箱体进行，且针对待测箱体的检漏操作前的装配和检漏操作后的拆卸需要较多耗时，因此，既无法实现对两个或更多待测箱体的批量化检漏操作，也无法实现检漏操作与待测箱体装拆的同时进行，造成现有质谱检漏设备检漏耗时较多，工作效率低。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种质谱检漏设备，用以解决现有质谱检漏设备的检漏耗时较多，工作效率低的问题。

本实用新型提供一种质谱检漏设备，用于检测待测箱体的气密性，质谱检漏设备包括：支撑架、真空腔体、升降机构、抽气机构、示踪气体源、充气机构、质谱检漏装置及控制装置。真空腔体设置为至少两个，且各真空腔体均放置在支撑架上，各真空腔体内设置有用于容纳待测箱体的容纳腔。升降机构设于支撑架上且升降机构的数量与真空腔体的数量相对应，以用于分别驱动所对应的各真空腔体的结合与分离。示踪气体源用于向待测箱体提供示踪气体。质谱检漏装置与真空腔体导通连接，用于检测容纳腔内的示踪气体含量，从而判断待测箱体是否合格。控制装置与升降机构、抽气机构、示踪气体源、充气机构及质谱检漏装置电连接以控制各自的工作。

进一步的，真空腔体由成对设置的上盖体和下盖体形成，当上盖体盖设在下盖体上，上盖体与下盖体之间密封形成容纳腔。下盖体包括相互连接的支撑座和支撑板组件，支撑座对应上盖体设置并用于承载支撑板组件，支撑板组件用于承载待测箱体。上盖体固定在支撑架上方，对应的下盖体在升降机构的驱动下与上盖体固定或脱离。

更进一步的，抽气机构具有与各容纳腔对应导通连接的至少两个抽气端，充气机构的第一输入端与示踪气体源导通连接，充气机构设有与各容纳腔对应的并与各容纳腔中的待测箱体导通连接的至少两个第一输出端，控制装置用于控制充气机构对待测箱体的充气，质谱检漏装置设有与各容纳腔对应的并与真空腔体导通连接的至少两个第二输入端，质谱检漏装置用于检测容纳腔内的示踪气体含量，从而判断待测箱体是否合格。

再进一步的，质谱检漏设备还包括：用于选择性地将抽气机构与一个容纳腔相连通的至少一个第一换向阀；用于选择性地将充气机构与一个待测箱体相连通的至少一个第二换向阀；以及用于选择性地将质谱检漏装置与一个容纳腔相连通的至少一个第三换向阀。

又进一步的，控制装置根据质谱检漏装置的检测结束信号控制下盖体与上盖体的脱离，控制装置根据支撑板组件的承载判断信号控制下盖体与上盖体的固定。

再更进一步的，控制装置交替控制至少两个真空腔体的结合与分离，以使得至少一对下盖体与上盖体固定且至少一对下盖体与上盖体脱离。