[实用新型]一种半导体冷却管加工用工装

说明书

本实用新型公开了一种半导体冷却管加工用工装，属于半导体加工领域。本实用新型包括安装在底板上的两组相同的加工组件，加工组件包括设置在同一轴线上的回转气缸、定位组件、支撑架、气动尾架，冷却管放置在支撑架上，通过冷却管两端的回转气缸和气动尾架相互配合，从而实现加工过程中对冷却管的装夹。本装置每次能够装夹两根冷却管进行加工，并且将加工、检测两道工序合并成一道工序，加工效率翻倍。

技术领域

本实用新型涉及属于半导体加工领域，具体涉及一种半导体冷却管加工用工装。

背景技术

水冷卡盘是IC刻蚀工艺腔室温度控制的核心部件。水冷卡盘冷却液的冷却管的加工及结构直接影响了刻蚀过程中蓝宝石片及刻蚀腔内的温度控制。氦气从水冷卡盘上层的气孔进入托盘，实现了蓝宝石片的冷却；同时从冷却卡盘下层水道内通过的冷却管往蓝宝下面腔体的部分上面喷冷却水，水流带走刻蚀腔内的热量，从而实现温度控制。因此冷却管加工的好坏直接影响了水冷卡盘，影响晶圆刻蚀的良品率。现有技术中，一般采用数控分度头来加工金属管壁钻孔的工序，该分度头具有价格昂贵，旋转缓慢(一般20秒/1圈)，一次只能装夹一根等缺点。

实用新型内容

本实用新型的目的在于提供一种能够实现多组冷却管加工的装置。

本实用新型的技术方案是：一种半导体冷却管加工用工装，包括底板，底板的一端设有竖直固定的回转气缸安装板，底板上还固定设置有两组相同的加工组件，加工组件包括设置在同一轴线上的回转气缸、定位组件、支撑架、气动尾架，定位组件固定安装于回转气缸的缸体上，缸体上设有刻度，定位组件包括定位板、顶尖、弹簧、闷盖，定位板的中间向外凸出，中心位置内设有用于容置顶尖的台阶形通孔，顶尖包括一体成型顶尖本体、限位板、弹簧轴，顶尖本体的最前端设有与冷却管相匹配的倒角，顶尖本体、限位板的外径与台阶形通孔的内径相匹配，顶尖安装于定位板内，弹簧设置在顶尖与闷盖之间，并套设在弹簧轴上，闷盖与定位板固定连接；支撑架包括通过支撑条固定连接的一组支撑块，支撑块上方固定连接有Y型支撑板，Y型支撑板与顶尖位于同一轴线上；气动尾架包括尾座本体，设置在尾座本体上的气缸，气缸的顶针套筒突出于尾座本体设置，尾座本体通过底端的定位块固定在底座上，顶针套筒上设有顶针，顶针与顶尖位于同一轴线上，顶针的顶端与冷却管的倒角相匹配。

进一步的技术方案，加工组件平行的设置在底板上，回转气缸固定在回转气缸安装板上。

进一步的技术方案，支撑条上还设有传感器底座，传感器底座上设有对称的传感器。

本实用新型的有益效果：

1、本实用新型采用精密回转气缸和精密气动尾架等装置组合而成，用来加工半导体水冷却金属管的装置。本装置每次能够装夹两根冷却管进行加工，加工效率翻倍。

2、本实用新型通过对现有设备结构进行改进，将加工、检测两道工序合并成一道工序，简化工序后，一个操作员工可以操作几台机床，减少了数倍的人力资源，减少了资源的浪费，大大的增加了企业的效益。

附图说明

图1为本实用新型结构示意图，

图2为图1中定位组件结构示意图，

其中，1、底板，11、回转气缸安装板，2、回转气缸，21、缸体，3、定位组件，31、定位板，32、顶尖，33、弹簧，34、闷盖，4、支撑架，41、支撑条，42、支撑块，43、Y型支撑板，44、传感器底座，45、传感器，5、气动尾架，51、尾座本体，52、气缸，53、顶针套筒。

具体实施方式

下面通过非限制性实施例，进一步阐述本实用新型，理解本实用新型。