[实用新型]液体回收装置

权利要求书

1.一种液体回收装置，用于晶圆化学机械研磨机台，其特征在于，包括：

液体收集结构，其设置在晶圆化学机械研磨机台边缘旁侧，且位于晶圆化学机械研磨机台研磨液喷头下方，其能将晶圆化学机械研磨机台研磨液喷头流出的液体回收；

液体导入结构，其一端连接液体收集结构，其另一端置于储液结构中；

储液结构，其布置在晶圆化学机械研磨机台边缘旁侧，其用于存储回收的液体；

送风装置，其设置在储液结构的旁侧，其能向储液结构内输送新风。

2.如权利要求1所述的液体回收装置，其特征在于，还包括：

扩散蒸发件，其设置在储液结构中，且位于储液结构中储存液体液面上方，液体导入结构穿过扩散蒸发件。

3.如权利要求1所述的液体回收装置，其特征在于，还包括：

液体导出结构，其一端设置在储液结构储存液体中，其另一端连接化学机械研磨机台的研磨液储存机构；

泵，其设置在储液结构中，其连接液体导出结构，其将储液结构储存液体泵入化学机械研磨机台研磨液存储机构。

4.如权利要求2所述的液体回收装置，其特征在于：蒸发扩散件是固定在储液结构中的扩散蒸发膜。

5.如权利要求1所述的液体回收装置，其特征在于：液体收集结构是液体收集槽或液体收集盘，液体导入结构是连接在所述液体收集槽或液体收集盘下方的导液管。

6.如权利要求1所述的液体回收装置，其特征在于：储液结构是底部设有滑动机构的储液桶。

7.如权利要求1所述的液体回收装置，其特征在于，还包括：

水含量检测传感器，其设置在储液结构底部，其用于检测回收研磨液中的水含量，其内存储水含量阈值；

当水含量检测传感器检测的水含量大于水含量阈值，水含量检测传感器发送电信号使风量控制阀门开度为第一预设开度；

当水含量检测传感器检测的水含量小于等于水含量阈值，水含量检测传感器发送电信号使风量控制阀门开度为第二预设开度；

其中，第一预设开度大于第二预设开度；

风量控制阀门，其设置在送风装置的出风口。

8.如权利要求1所述的液体回收装置，其特征在于，还包括：

第一移动支撑架，其底部设有滑动机构，其用于支撑液体收集结构；

其中，液体导入结构采用柔性管体。

9.如权利要求3所述的液体回收装置，其特征在于，还包括：

第二移动支撑架，其底部设有滑动机构，其用于支撑液体导出结构；

其中，液体导出结构采用柔性管体。

10.如权利要求1所述的液体回收装置，其特征在于：送风装置是吹风机，其向储液结构中的液体表面输送空气。

11.如权利要求1所述的液体回收装置，其特征在于：送风装置是具有加热装置的吹风机，其向储液结构中的液体表面输送加热空气。