[实用新型]一种真空镀膜机的密封门控制装置有效
申请号: | 201921253185.1 | 申请日: | 2019-08-03 |
公开(公告)号: | CN210367898U | 公开(公告)日: | 2020-04-21 |
发明(设计)人: | 全斌 | 申请(专利权)人: | 协荣精密器件(东莞)有限公司 |
主分类号: | C23C14/56 | 分类号: | C23C14/56 |
代理公司: | 暂无信息 | 代理人: | 暂无信息 |
地址: | 523628 广东省*** | 国省代码: | 广东;44 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 真空镀膜 密封 门控 装置 | ||
1.一种真空镀膜机的密封门控制装置,包括真控罩以及铰接在真空罩(1)上的第一密封门(2)和第二密封门(3),其特征在于:还包括设于真空罩(1)上端的控制组件(4);
控制组件(4)包括转动板(41)以及能够驱动转动板(41)转动的驱动电机(42),转动板(41)的形状为扇形;
转动板(41)靠近自身圆心的一端靠近驱动电机(42)设置,转动板(41)上开设有两个滑槽(43);
第一密封门(2)和第二密封门(3)的上端均固定连接竖轴(21),竖轴(21)处于滑槽(43)内。
2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的密封门控制装置,其特征在于:所述竖轴(21)上套设有转筒(22),转筒(22)和竖轴(21)转动连接,使转筒(22)能够沿着自身的轴线转动,转筒(22)和滑槽(43)的侧壁相切。
3.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的密封门控制装置,其特征在于:所述竖轴(21)的上端设有圆盘(5),圆盘(5)的下端固定连接有竖杆(51),竖杆(51)的下端插入竖轴(21)内且和竖轴(21)螺纹连接,圆盘(5)和转动板(41)的上表面贴合。
4.根据权利要求3所述的一种真空镀膜机的密封门控制装置,其特征在于:所述圆盘(5)和转动板(41)贴合的表面上嵌设有多个均匀分布的滚珠(52)。
5.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的密封门控制装置,其特征在于:所述转动板(41)靠近驱动电机(42)的一端下表面设有转盘(421),转盘(421)和转动板(41)栓接,转盘(421)和驱动电机(42)的输出轴固定连接。
6.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的密封门控制装置,其特征在于:所述转动板(41)上开设有空腔(44),空腔(44)内部固定连接有多个加固板(45)。
7.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机的密封门控制装置,其特征在于:所述转动板(41)的上表面设有能够对滑槽(43)进行遮挡的防护罩(6)。
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