[实用新型]一种耐高温、高密封结构的石英挠性加速度传感器

说明书

本申请公开了一种耐高温、高密封结构的石英挠性加速度传感器，包括表头与混合集成电路，表头与混合集成电路通过细导线电气连接在一起，所述表头的不锈钢壳体和混合集成电路的混合集成电路不锈钢壳体通过激光焊接在一起形成整机；所述表头包括全密封的不锈钢壳体和表芯，所述表芯胶粘固定于不锈钢壳体内；所述表芯包括上力矩器、下力矩器和石英挠性摆组件；其中，下力矩器包括：内接线柱、第一封接玻璃和下轭铁，其特征在于：采用金属‑玻璃封接技术将内接线柱和下轭铁由第一封接玻璃介质在800℃‑1000℃的含氢气大于2％小于10％氮氢混合气体气氛高温融合粘接在一起，这样的结构保证了传感器表头部分内部腔体高度密封、全天候耐高温。

技术领域

本实用新型一般涉及高精度测量仪器技术领域，具体涉及一种耐高温、高密封结构的石英挠性加速度传感器。

背景技术

随着惯性系统低成本化的发展，在20世纪60年代中期开始出现新型的非液浮的所谓干式加速度计。由于这种仪表采用挠性支承技术，所以称为石英挠性加速度计，且其结构与工艺大大简化。

石英挠性加速度计用于航空、航天、航海等领域的各种捷联惯导系统或平台系统测量中的初始对准、飞行姿态测量、导航控制、油井钻探平台测量，但在现有技术中，由于石英挠性加速度计内部通常采用胶粘技术来连接各个部件，因此存在气密性较差，耐高温性太差，机械强度不够以及防腐蚀能力不强等问题。

实用新型内容

鉴于现有技术中的上述缺陷或不足，期望提供一种耐高温、高密封结构的石英挠性加速度传感器。

一种耐高温、高密封结构的石英挠性加速度传感器，包括表头与混合集成电路，表头与混合集成电路通过细导线电气连接在一起，所述表头的不锈钢壳体和混合集成电路的混合集成电路不锈钢壳体通过激光焊接在一起形成整机；

所述表头包括全密封的不锈钢壳体和表芯，所述表芯胶粘固定于不锈钢壳体内；所述表芯包括上力矩器、下力矩器和石英挠性摆组件；

其中，下力矩器包括：内接线柱、第一封接玻璃和下轭铁，其特征在于：采用金属-玻璃封接技术将内接线柱和下轭铁由第一封接玻璃介质在800℃-1000℃的含氢气大于2％小于10％氮氢混合气体气氛高温融合粘接在一起。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述混合集成电路包括半导体集成电路和混合集成电路不锈钢壳体，半导体集成电路固定连接在混合集成电路不锈钢壳体内部，有数根外接线柱从上端贯穿所述混合集成电路不锈钢壳体且有一部分从上端伸出，用金属-玻璃封接技术将混合集成电路不锈钢壳体和外接线柱的下端由第二封接玻璃介质在 800℃-1000℃的含氢气大于2％小于10％氮氢混合气体气氛高温融合粘接在一起。

根据本申请实施例提供的技术方案，所述石英挠性摆组件置于上力矩器和下力矩器之间，所述上力矩器和所述下力矩器通过石英挠性摆组件连接在一起且贴合固定在全密封的不锈钢壳体内。

综上所述，本申请的上述技术方案给出了一种耐高温、高密封结构的石英挠性加速度传感器，由于采用金属-玻璃封接技术，将内接线柱和下轭铁由第一封接玻璃介质在800℃-1000℃的含氢气大于2％小于10％氮氢混合气体气氛高温融合粘接在一起，构成下力矩器来保证加速度传感器表头内部腔体高度密封、全天候耐高温；而全密封的不锈钢壳体具有较好的机械强度、较强的防腐蚀能力。

附图说明

通过阅读参照以下附图所作的对非限制性实施例所作的详细描述，本申请的其它特征、目的和优点将会变得更明显：

图1为耐高温、高密封结构的石英挠性加速度传感器的整体结构示意图；

图2为耐高温、高密封结构的石英挠性加速度传感器的放大下力矩器部分结构示意图；

图3为耐高温、高密封结构的石英挠性加速度传感器的放大混合集成电路部分结构示意图；