[实用新型]存储半导体超纯化学品的泄漏自检型储罐

权利要求书

1.存储半导体超纯化学品的泄漏自检型储罐，包括矩形底板（8）和圆形底座（11），矩形底板（8）位于圆形底座（11）的右方，矩形底板（8）的左面与圆形底座（11）的右面固定连接在一起，圆形底座（11）的上表面内凹有一个圆形凹孔，圆形凹孔的内部设置有一个储罐（13），其特征在于：所述储罐（13）的直径大小与圆形底座（11）上表面的圆形凹孔的直径大小相符合，储罐（13）的下端插入圆形底座（11）的圆形凹孔内，圆形底座（11）上表面的圆形凹孔的内壁与储罐（13）下端的侧表面固定连接在一起，圆形底座（11）的上表面内凹有一个圆形凹槽（12）。

2.根据权利要求1所述的存储半导体超纯化学品的泄漏自检型储罐，其特征在于：所述圆形底座（11）上表面的圆形凹槽（12）的圆心与圆形底座（11）上表面的圆形凹孔的圆形处相重合，圆形凹槽（12）位于圆形凹孔的外侧。

3.根据权利要求1所述的存储半导体超纯化学品的泄漏自检型储罐，其特征在于：所述矩形底板（8）的上表面右端固定连接一根竖杆二（7），竖杆二（7）的上表面固定连接一个电机（5）。

4.根据权利要求3所述的存储半导体超纯化学品的泄漏自检型储罐，其特征在于：所述电机（5）的左面固定连接一根转轴（4），转轴（4）的左面固定连接一根竖杆一（3），竖杆一（3）的左面下端固定连接一根横杆一（2）。

5.根据权利要求4所述的存储半导体超纯化学品的泄漏自检型储罐，其特征在于：所述横杆一（2）的左端套接一个环形套（1），环形套（1）的下表面固定连接一个横杆三（9），横杆三（9）的形状为L型。

6.根据权利要求5所述的存储半导体超纯化学品的泄漏自检型储罐，其特征在于：所述横杆三（9）上端的侧表面套接一个矩形套，矩形矩形套的右面固定连接一根连接杆（6）。

7.根据权利要求6所述的存储半导体超纯化学品的泄漏自检型储罐，其特征在于：所述连接杆（6）的右面与竖杆二（7）的左面固定连接在一起，横杆三（9）的左面固定连接一根竖杆三（10）。

8.根据权利要求7所述的存储半导体超纯化学品的泄漏自检型储罐，其特征在于：所述竖杆三（10）的上表面固定连接一根横杆四（15），横杆四（15）的左面固定连接一个圆环（14），圆环（14）的内圈直径大小与储罐（13）的直径大小相符合。

9.根据权利要求8所述的存储半导体超纯化学品的泄漏自检型储罐，其特征在于：所述圆环（14）套在储罐（13）的外侧，圆环（14）的内壁上固定连接一个激光检测扫描仪。