[实用新型]一种插片机防碎片传输装置

说明书

本实用新型涉及硅片生产设备技术领域内一种插片机防碎片传输装置，包括弧形过渡输送带和水平输送带，所述水平输送带通过主动带轮和从动带轮传动连接，所述水平输送带与弧形过渡输送带衔接处的下侧设有气流缓冲装置，所述气流缓冲装置设有若干垂直向上喷射气流的喷气孔。本实用新型的插片机防碎片传输装置，在硅片从倾斜转至水平的过渡衔接处的水平输送带的下侧设置气流缓装置，从硅片的下侧垂直向上对准硅片吹射气流，对下落的硅片进行气流缓冲，使硅片平缓下落至水平输送带，有效避免硅片破裂。

技术领域

本实用新型涉及硅片生产设备技术领域，特别涉及一种插片机防碎片传输装置。

背景技术

现有技术中，插片机在插片过程中垂直状态的硅片由水槽底部通过吸盘传输出来时，必须经过圆弧轨道使硅片由竖直逐渐转到水平过程，硅片在圆弧轨道的最后段传递到水平传送带的过程中，一定倾斜角度的硅片在重力作用下落至水平传送带上，些过程中，很容易导致硅片破裂碎片，影响插片顺利进行。

实用新型内容

本实用新型针对现有技术中的插片机传输装置硅片角度变换过程中容易碎片的问题，提供一种插片机防碎片传输装置，通过硅片转至水平位置的过渡处下侧设置气流缓冲装置，以避免硅片角度变换时震动破碎。

本实用新型的目的是这样实现的，一种插片机防碎片传输装置，包括弧形过渡输送带和水平输送带，所述水平输送带通过主动带轮和从动带轮传动连接，所述水平输送带与弧形过渡输送带衔接处的下侧设有气流缓冲装置，所述气流缓冲装置设有若干垂直向上喷射气流的喷气孔。

本实用新型的插片机防碎片传输装置，在硅片从倾斜转至水平的过渡衔接处的水平输送带的下侧设置气流缓装置，从硅片的下侧垂直向上对准硅片吹射气流，对下落的硅片进行气流缓冲，使硅片平缓下落至水平输送带，有效避免硅片破裂。

作为本实用新型的气流缓冲装置的优选，所述气流缓冲装置连接于从动带轮支承座的侧向，包括固定于从动带轮支承座侧向的支撑块，所述支撑块上水平连接有横向支承导轨，所述横向支撑导轨上连接有支撑滑块，所述支撑滑块的下端与横向支承导轨滑动配合，支撑滑块上端设有竖直的导向孔，所述导向孔内滑动连接有导杆，所述导杆的上端固定连接有喷气座，所述喷气座顶部排布若干所述喷气孔。本实用新型的气流缓冲装置，根据硅片的位置喷气座的水平位置可以沿横向支承导轨滑动调，竖直位置可以沿导向孔和导向杆的滑动调节，从而适应硅片下落时的角度和输送速度的要求。

为进一步改进气流缓冲装置的安装方式，所述横向支撑导轨一端与支撑块固定连接，所述横向支承导轨包括连接端和滑动支撑端，所述连接端与支撑块固定连接，连接端下侧的支撑块侧向还设有支撑台阶，所述滑动支撑端的截面为方形，所述支撑滑块的下端配合设有方形开口的滑槽，所述滑槽与横向支承导轨的滑动支撑端设有锁固螺钉一；所述导向孔与导杆之间设有锁固螺钉二。

进一步地，所述喷气孔沿硅片的宽度方向等间隔排布3～5个。

附图说明

图1为本实用新型的插片机防碎片传输装置的结构示意图。

图2为气流缓冲装置的安装结构示意图。

其中，1弧形过渡输送带；2水平输送带；3硅片；4从动带轮；5从动带轮支承座；6支撑块；7支撑台阶；8横向支承导轨；9支撑滑块；10导杆；11喷气座；12喷气孔。

具体实施方式

如图1和图2所示为本实用新型的插片机防碎片传输装置，包括弧形过渡输送带1和水平输送带2，水平输送带2通过主动带轮和从动带轮4传动连接，水平输送带2与弧形过渡输送带1衔接处的下侧设有气流缓冲装置，气流缓冲装置设有若干垂直向上喷射气流的喷气孔12。