[实用新型]气体温度湿度可控的流量控制设备

说明书

本实用新型涉及一种气体温度湿度可控的流量控制设备，包括控制设备本体、控制模块、加湿调节通道、干燥调节通道、温度调节装置、加湿器、干燥器和温湿度传感器，温湿度传感器设置于控制设备本体上的输出通道处，加湿调节通道通过温度调节装置与加湿器相连通，干燥调节通道通过温度调节装置与干燥器相连通，加湿调节通道穿过加湿器与控制设备本体上的输出通道相连通，干燥调节通道穿过干燥器与控制设备本体上的输出通道相连通，通过温度调节装置可以实现对气体温度的调节，分别通过调节流经加湿调节通道和干燥调节通道的气体流量，可配比出不同湿度的目标气体，同时实现对输出气体的温度和湿度的控制。

技术领域

本实用新型涉及气体控制技术领域，具体涉及一种气体温度湿度可控的流量控制设备。

背景技术

气体质量流量控制器(Mass Flow Contrller，MFC)是微电子领域、化工领域等常用的元件，气体质量流量控制器主要用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，在半导体微电子工业、特种材料研制、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。传统流量控制方式仅仅采用气体质量流量传感器与调节阀相结合的方式，使用控制单元进行数据采集与控制的比例积分微分调节，但是大多数的只能够控制气体的流量和气体的种类。当用户对所输出气体的温度和湿度有要求时，传统的气体流量控制器就无法实现，更严重的问题是，如果使用传统的气体流量控制器去控制带有温度和湿度的气体(比如：60摄氏度90％RH)，不仅不能控制，更会由于低于露点冷凝造成堵塞传感器，造成对流量控制器的损坏。

目前，针对气体流量的温度控制设备形式单一，体积庞大，没有统一标准，传统气体控温方式往往采用将固定流量的气体通入一个整体罐体加热，气体直接接触加热装置。这种控温方式不仅仅降温速度慢，控温速度不稳定，而且不够安全，如果涉及到氢气氧气等易燃易爆气体种类这种方式存在极大安全隐患。而针对气体流量的湿度控制设备，需要加湿的环境中工作，用户或设备商选择将定量的气体通入一个可加热的纯水罐体之中，并携带出水蒸气进行加湿。这种控湿的方式不仅仅气体湿度不可控，携带出水蒸气的气体都处于饱和状态也就是100％RH以上，通常会达到露点造成冷凝，从而无法真实控制输出的气体湿度。而且，无法实现对输出气体湿度的调节，只能理论计算气体湿度或根据出口湿度减少加热温度。

无论是对气体温度的控制还是对气体湿度的控制，其调节都存在较大的误差，因此，亟需一种气体温度湿度可控的流量控制设备，来满足人们对气体的温湿度要求。

实用新型内容

有鉴于此，本实用新型的目的在于克服现有技术的不足，提供一种气体温度湿度可控的流量控制设备，以实现对输出气体的流量精确控制的同时还能控制其的温度和湿度。

为实现以上目的，本实用新型采用如下技术方案：

一种气体温度湿度可控的流量控制设备，包括控制设备本体、控制模块、加湿调节通道、干燥调节通道、温度调节装置、加湿器、干燥器和温湿度传感器；

所述加湿调节通道设置有加湿流量传感器和加湿调节阀，所述干燥调节通道设置有干燥流量传感器和干燥调节阀；

所述温湿度传感器设置于所述控制设备本体上的输出通道处；

所述加湿调节通道通过所述温度调节装置与所述加湿器相连通，所述干燥调节通道通过所述温度调节装置与所述干燥器相连通；

所述加湿调节通道穿过所述加湿器与所述控制设备本体上的输出通道相连通；所述干燥调节通道穿过所述干燥器与所述控制设备本体上的输出通道相连通；

被控气体的第一部分通过所述加湿调节通道进入所述温度调节装置，得到第一温调气体，所述被控气体的第二部分通过所述干燥调节通道进入所述温度调节装置，得到第二温调气体；

所述第一温调气体流过所述加湿器进行加湿，得到加湿气体；所述第二温调气体流过所述干燥器进行干燥，得到干燥气体；