[实用新型]一种行星式多坩埚PVT法晶体沉积反应炉有效
| 申请号： | 201921270676.7 | 申请日： | 2019-08-07 |
| 公开（公告）号： | CN210194036U | 公开（公告）日： | 2020-03-27 |
| 发明（设计）人： | 赵丽丽;张胜涛;袁文博;范国峰 | 申请（专利权）人： | 哈尔滨科友半导体产业装备与技术研究院有限公司 |
| 主分类号： | C30B23/00 | 分类号： | C30B23/00;C30B29/36 |
| 代理公司： | 哈尔滨市伟晨专利代理事务所(普通合伙) 23209 | 代理人： | 韩立岩 |
| 地址： | 150000 黑龙江省哈尔滨市南岗区*** | 国省代码： | 黑龙江;23 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 行星 坩埚 pvt 晶体 沉积 反应炉 | ||
1.一种行星式多坩埚PVT法晶体沉积反应炉，包括反应平台(1)：其特征在于，所述反应平台(1)上加工有一组安装凹槽，所述安装凹槽为圆形凹槽，所述安装凹槽底部周向等间距加工有若干组轴承槽，所述轴承槽内均设置有安装轴承，每个所述安装轴承内分别与一个从动转轴(2)，所述从动转轴(2)上方与一组隔热坩埚托盘(3)固定连接，所述隔热坩埚托盘(3)上加工有限位卡槽，所述隔热坩埚托盘(3)上通过所述限位卡槽固定设置有一组反应坩埚(4)，所有所述从动转轴(2)下方均与一组旋转驱动装置(5)配合连接，所述反应平台(1)上还设置有一组绝热保护罩(6)，所述绝热保护罩(6)将所有所述反应坩埚(4)包覆，所述绝热保护罩(6)外端缠绕有感应线圈(7)，所述感应线圈(7)通过导线和控制开关与外接电源电连接。
2.根据权利要求1所述的一种行星式多坩埚PVT法晶体沉积反应炉，其特征在于，所述旋转驱动装置(5)包括一组旋转驱动电机(51)，所述旋转驱动电机(51)主轴与一组旋转驱动齿轮(52)键连接，所述旋转驱动齿轮(52)与若干组从动齿轮(53)啮合，所述从动齿轮(53)分别设置在所述从动转轴(2)上。
3.根据权利要求1所述的一种行星式多坩埚PVT法晶体沉积反应炉，其特征在于，所述隔热坩埚托盘(3)为石墨托盘。
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