[实用新型]无源无线声表面波高温热流传感器

权利要求书

1.一种无源无线声表面波高温热流传感器，其特征在于，包括：

采集机构，所述采集机构包括钇钡铜氧热电单元；

转换机构，所述转换机构包括压电单元及延迟线单元；所述转换机构与所述采集机构电连接；

输出件，所述输出件连接在所述转换机上。

2.根据权利要求1所述的声表面波高温热流传感器，其特征在于，所述转换机构包括：

耐高温基底，所述压电单元、所述延迟线单元分别设置在所述耐高温基底上；其中

所述钇钡铜氧热电单元与所述压电单元电连接。

3.根据权利要求2所述的声表面波高温热流传感器，其特征在于，所述延迟线单元包括：

叉指换能器及反射栅，所述叉指换能器及所述反射栅分别设置在所述耐高温基底上；其中

所述反射栅的数量为两根，所述压电单元位于两根所述反射栅之间。

4.根据权利要求2或3所述的声表面波高温热流传感器，其特征在于，所述压电单元包括：

耐高温压电薄膜；

耐高温电极片，两片所述耐高温电极片分别设置在所述耐高温压电薄膜的顶部和底部，底部的所述耐高温电极片设置在所述耐高温基底上；其中

所述钇钡铜氧热电单元与两片所述耐高温电极片电连接。

5.根据权利要求4所述的声表面波高温热流传感器，其特征在于，所述采集机构包括所述钇钡铜氧热电单元以及设置在所述钇钡铜氧热电单元顶部的热流导热片。

6.根据权利要求5所述的声表面波高温热流传感器，其特征在于，所述钇钡铜氧热电单元包括：

钇钡铜氧热电堆，所述钇钡铜氧热电堆与所述耐高温基底间隔设置，所述热流导热片设置在所述钇钡铜氧热电单元顶部；

耐高温电极，两个所述耐高温电极分别设置在所述钇钡铜氧热电堆的两端；其中

两个所述耐高温电极分别与两片所述耐高温电极片电连接。

7.根据权利要求6所述的声表面波高温热流传感器，其特征在于，在所述钇钡铜氧热电堆的底部设有隔热层。

8.根据权利要求7所述的声表面波高温热流传感器，其特征在于，在所述隔热层上设有多个沟槽，多个所述沟槽均匀间隔布置。

9.根据权利要求7或8所述的声表面波高温热流传感器，其特征在于，在所述隔热层与所述耐高温基底之间填充惰性气体。

10.根据权利要求6或7所述的声表面波高温热流传感器，其特征在于，所述钇钡铜氧热电堆包括：

衬底；

钇钡铜氧薄膜，多层所述钇钡铜氧薄膜沿c轴外延堆叠在所述衬底上；其中

所述钇钡铜氧薄膜的法向与c轴之间的夹角为10°～80°。