[实用新型]高密度等离子体密度测量的激光光纤干涉仪诊断系统有效
| 申请号： | 201921284684.7 | 申请日： | 2019-08-08 |
| 公开（公告）号： | CN210221312U | 公开（公告）日： | 2020-03-31 |
| 发明（设计）人： | 张森;兰涛 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G01J9/02 | 分类号： | G01J9/02;G01N9/24 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 纪志超 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 高密度 等离子体 密度 测量 激光 光纤 干涉仪 诊断 系统 | ||
1.一种高密度等离子体密度测量的激光光纤干涉仪诊断系统，其特征在于，所述激光光纤干涉仪诊断系统包括：激光器、第一光纤耦合器、衰减器、第一光功率计、第二光功率计、第二光纤耦合器、第一至第三光电探测器以及信号处理装置；
其中，所述激光器用于输出相干激光；
所述第一光纤耦合器用于将所述相干激光分束为信号光束和参考光束；
所述信号光束用于依次通过待测等离子体区域、所述第一光功率计和所述第二光纤耦合器；
所述参考光束用于依次通过所述衰减器、所述第二光功率计和所述第二光纤耦合器；
所述第二光纤耦合器用于将三路输出端分别连接至所述第一至第三光电探测器；
所述信号处理装置用于对所述第一至第三光电探测器的输出电压信号进行解析以获得所述待测等离子体的密度参数；
其中，通过调节所述衰减器以使进入所述第二光纤耦合器的所述信号光束的光强和所述参考光束的光强相等。
2.根据权利要求1所述的激光光纤干涉仪诊断系统，其特征在于，所述激光器为超窄线宽激光器；
所述超窄线宽激光器用于从单模光纤中输出所述相干激光。
3.根据权利要求2所述的激光光纤干涉仪诊断系统，其特征在于，所述超窄线宽激光器的线宽小于3kHz。
4.根据权利要求1所述的激光光纤干涉仪诊断系统，其特征在于，所述第一光纤耦合器为2×2光纤耦合器。
5.根据权利要求1所述的激光光纤干涉仪诊断系统，其特征在于，所述第二光纤耦合器为3×3光纤耦合器。
6.根据权利要求5所述的激光光纤干涉仪诊断系统，其特征在于，所述3×3光纤耦合器的三路输出端的三路输出信号相差120°。
7.根据权利要求1所述的激光光纤干涉仪诊断系统，其特征在于，所述第一至第三光电探测器为高速低噪声的InGaAs光电探测器。
8.根据权利要求1所述的激光光纤干涉仪诊断系统，其特征在于，所述激光光纤干涉仪诊断系统还包括：准直透镜；
其中，所述信号光束经过所述准直透镜处理后，再依次通过待测等离子体区域、所述第一光功率计和所述第二光纤耦合器。
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