[实用新型]一种移动式真空泵真空度测试系统

说明书

本实用新型提供了一种移动式真空泵真空度测试系统，包括集成于一移动推车上的真空泵、与真空泵散热管道连通的水冷单元、能够与供气系统连接对真空泵内部进行清理的吹气单元和与真空泵进气口连通的测试单元，测试单元与真空泵之间设置有第一阀门。本实用新型提供的移动式真空泵真空度测试系统的优点在于：系统结构简单，能够根据真空泵位置方便的进行组装，测试方便，数据准确，提高生产安全。

技术领域

本实用新型涉及真空泵的真空度标定技术领域，尤其涉及一种移动式真空泵真空度测试系统。

背景技术

作为集成电路产业关键原材料的高纯特种气体，不仅在集成电路产业中占有重要的地位，其在太阳能光伏、平面显示器、化合物半导体器件、石油化工、光纤通讯也都有着不可或缺的作用，广泛应用在薄膜、掺杂、刻蚀、扩散、气相沉积等工艺中。随著科学技术的发展，对于高纯特种气体的品质要求也越来越高，一般对于气体的纯度要求要大于99.9999％，其杂质总浓度不高于1ppm。

高纯特种气体的运输是借助钢瓶等压力容器，通常将气体通过管道输送，盛装于钢瓶内，如果连接管道或在生产中反应釜内真空度达不到要求，将会使管道、反应釜压力升高，从而使得生产中极易发生爆炸的危险，真空泵的真空度直接决定反应釜的真空度，为了确保生产安全，需要定期检查真空泵的真空度是否符合要求。目前对于正常使用状态的真空泵的检测是将真空泵转移到生产区域的通风橱内，通过连接供气管路进行测试，目前在对真空泵进行测试时，一般是将其转移到生产区域的通风橱内并连接管道进行测试，这种环境下存在一定的气体泄漏的风险，有可能威胁生产区域内的作业人员的人身安全。

实用新型内容

本实用新型所要解决的技术问题在于提供一种能够便捷的测量真空泵的真空度是否满足要求并且便于转移的真空度测试系统。

本实用新型是通过以下技术方案解决上述技术问题的：

一种移动式真空泵真空度测试系统，包括集成于一移动推车上的真空泵、与真空泵散热管道连通的水冷单元、能够与供气系统连接对真空泵内部进行清理的吹气单元和与真空泵进气口连通的测试单元，测试单元与真空泵之间设置有第一阀门。

优选的，所述水冷单元包括水箱、与水箱连接的循环泵、与循环泵连通的压缩机，压缩机与真空泵的散热管道连通向真空泵供水，真空泵的出水回到水箱内。

优选的，所述吹气单元包括与真空泵排气口连通的尾气处理机构和与供气系统连接的第二阀门，所述尾气处理机构所在管路上还设置有第三阀门。

优选的，所述供气系统向真空泵提供氮气。

优选的，所述第二阀门所在管路上还设置有压力表。

优选的，所述供气机构工作时，压力表数值为0.1MPa～0.2MPa。

优选的，所述测试单元包括通过气管与真空泵连接的皮拉尼真空规和与皮拉尼真空规通信连接的真空数显表。

本实用新型提供的移动式真空泵真空度测试系统的优点在于：系统结构简单，将真空泵与系统配合后能够方便的移动到安全位置进行检测，保障作业人员安全，测试方便，数据准确，提高生产安全。

附图说明

图1为本实用新型的实施例所提供的移动式真空泵真空度测试系统的示意图。

具体实施方式

为使本实用新型的目的、技术方案和优点更加清楚明白，以下结合具体实施例，并参照附图，对本实用新型作进一步的详细说明。