[实用新型]光伏电池表面钝化系统

权利要求书

1.一种光伏电池表面钝化系统，其特征在于：至少包括多功能PECVD设备、退火炉及PEALD设备，退火炉位于多功能PECVD工序之后，退火炉和多功能PECVD设备的工艺腔室（6）均与同一对应的石墨舟匹配，石墨舟载有硅片（1）在退火炉和多功能PECVD设备之间整体传送，所述多功能PECVD设备对硅片（1）的背面镀氧化硅膜（2）、非晶硅层以及对非晶硅层的原位掺杂，对应的反应温度是400~600℃，所述退火炉将镀膜后的硅片（1）加热至600℃以上，使非晶硅层转化为多晶硅层（3），然后降温至400~600℃；所述PEALD设备对硅片（1）的正面镀氧化铝膜（4）和氮化硅膜（5）。

2.根据权利要求1所述的光伏电池表面钝化系统，其特征在于：所述PEALD设备具有一个主机室，主机室内的工艺腔室（6）一端通过炉口法兰（11）与腔室盖（10）紧密连接，另一端与外部的尾气处理装置连通，工艺腔室（6）的壁层结构是保护套管及石英衬管（7），或者是保护套管、石英管及石英衬管（7），在工艺腔室（6）的端部设置有TMA进气口、笑气进气口、硅烷进气口、氨气进气口、氮气进气口五个进气口，五个进气口均通入工艺腔室（6）。

3.根据权利要求2所述的光伏电池表面钝化系统，其特征在于：工艺腔室（6）的内壁为石英衬管（7），在石英衬管（7）外周沿轴向套设保护套管或者石英管及保护套管，保护套管外部为加热炉体（9）。

4.根据权利要求2所述的光伏电池表面钝化系统，其特征在于：保护套管为耐高温金属管（8）。

5.根据权利要求2所述的光伏电池表面钝化系统，其特征在于：保护套管为不锈钢钢管。

6.根据权利要求2所述的光伏电池表面钝化系统，其特征在于：保护套管的一端部与炉口法兰（11）密封连接。

7.根据权利要求2所述的光伏电池表面钝化系统，其特征在于：TMA进气口、笑气进气口、硅烷进气口、氨气进气口、氮气进气口五个进气口分布在工艺腔室（6）的一端或两端上，或者由工艺腔室（6）端部的气管延伸到工艺腔室（6）的中部。

8.根据权利要求1所述的光伏电池表面钝化系统，其特征在于：所述PEALD设备设置在退火炉工序之后或者多功能PECVD工序之后、退火炉工序之前。