[实用新型]一种大尺寸感应线圈移动支撑装置

说明书

本实用新型公开了一种大尺寸感应线圈移动支撑装置，感应线圈包括线圈本体、沿线圈本体的长度延伸方向连接线圈本体的连接柱，装置包括连接在连接柱上端的上连接件、连接在连接柱下端的下连接件，线圈本体位于上连接件和下连接件之间；装置还包括两端分别连接在上连接件和下连接件上的C形支撑臂、平行于线圈本体长度延伸方向的导轨，C形支撑臂可来回滑动的设于导轨上。本实用新型一种大尺寸感应线圈移动支撑装置，通过设置上连接件、下连接件和C形支撑臂，对连接柱上端和下端进行固定连接，在升降感应线圈时能够保证感应线圈的稳定性，不会在升降过程中倾斜，保证了感应线圈对坩埚加热的均匀性，也保证了坩埚内部晶体的生长质量。

技术领域

本实用新型涉及一种大尺寸感应线圈移动支撑装置。

背景技术

碳化硅单晶生长时，一般是通过电阻加热或感应线圈加热，以在坩埚内部得到晶体生长所需的温度场。随着晶体生长的进行，需要对温度场进行调节，一般会向上或向下移动感应线圈，来调节坩埚内部的温度梯度。

现有的装置，一般是直接提拉感应线圈，使其上升或下降的。对于大尺寸的感应线圈，在提拉升降过程中，感应线圈运动不稳定，容易倾斜，导致对坩埚加热不均匀，影响坩埚内部的晶体生长质量。

发明内容

本实用新型的目的是提供一种大尺寸感应线圈移动支撑装置，升降感应线圈时能够保证感应线圈的稳定性，不会发生倾斜，保证了对坩埚加热的均匀性。

为达到上述目的，本实用新型采用的技术方案是：

一种大尺寸感应线圈移动支撑装置，感应线圈包括线圈本体、沿所述线圈本体的长度延伸方向连接所述线圈本体的连接柱，所述装置包括连接在所述连接柱上端的上连接件、连接在所述连接柱下端的下连接件，所述线圈本体位于所述上连接件和所述下连接件之间；所述装置还包括两端分别连接在所述上连接件和所述下连接件上的C形支撑臂、平行于所述线圈本体长度延伸方向的导轨，所述C形支撑臂可来回滑动的设于所述导轨上。

优选地，所述装置还包括设于所述连接柱上端的用于连接所述上连接件的上连接座、设于所述连接柱下端的用于连接所述下连接件的下连接座。

优选地，所述上连接件和所述下连接件均为与所述线圈同轴延伸的环形连接件。

优选地，所述装置包括至少两个所述C形支撑臂、用于连接至少两个所述C形支撑臂的连接板、连接在所述连接板背离所述C形支撑臂一侧的且用于来回滑动的设于所述导轨上的滑块。

优选地，所述装置还包括设于所述C形支撑臂与所述上连接件之间的上绝缘机构、设于所述C形支撑臂与所述下连接件之间的下绝缘机构。

优选地，所述上绝缘机构包括设于所述C形支撑臂上端与所述上连接件之间的上绝缘垫、用于固定所述C形支撑臂上端与所述上连接件的上螺栓、套设于所述上螺栓上的上绝缘套；所述下绝缘机构包括设于所述C形支撑臂下端与所述下连接件之间的下绝缘垫、用于固定所述C形支撑臂下端与所述下连接件的下螺栓、套设于所述下螺栓上的下绝缘套。

由于上述技术方案的运用，本实用新型与现有技术相比具有下列优点：本实用新型一种大尺寸感应线圈移动支撑装置，通过设置上连接件、下连接件和C形支撑臂，对连接柱上端和下端进行固定连接，在升降感应线圈时能够保证感应线圈的稳定性，不会在升降过程中倾斜，保证了感应线圈对坩埚加热的均匀性，也保证了坩埚内部晶体的生长质量。

附图说明

附图1为本实用新型装置的正视图；

附图2为本实用新型装置的俯视图。

其中：1、线圈本体；2、连接柱；3、上连接件；4、下连接件；5、C形支撑臂；6、导轨；7、上连接座；8、下连接座；9、连接板；10、滑块；11、上绝缘垫；12、上螺栓；13、上绝缘套；14、下绝缘垫；15、下螺栓；16、下绝缘套。