[实用新型]一种应用于半导体封装制程清洗工序的废水循环再生系统

权利要求书

1.一种应用于半导体封装制程清洗工序的废水循环再生系统，其特征在于，包括：连通于市水入口的第一控制阀，所述第一控制阀的输出端连通于原水存储桶，所述原水存储桶上还连接有第一泵体，所述第一泵体的输出端分别连接有对原水进行净化处理的过滤A线和过滤B线，所述过滤A线和过滤B线的输出端均连通于一纯水存储桶，所述纯水存储桶上还连接有第二泵体，所述第二泵体将纯水存储桶内的纯水输送至半导体封装制程清洗工序的清洗装置处对半导体封装件进行清洗，清洗过半导体封装件后的废水再经溢流至所述原水存储桶内，以完成废水循环再生利用，其中，所述过滤A线和过滤B线互为备用过滤。

2.如权利要求1所述的应用于半导体封装制程清洗工序的废水循环再生系统，其特征在于，所述过滤A线包括：连接于第一泵体输出端的第二控制阀，连接于所述第二控制阀的输出端的A线石英砂滤芯，连通于所述A线石英砂滤芯的A线一级棉质滤芯，连通于所述A线一级棉质滤芯的A线二级棉质滤芯，连接于所述A线二级棉质滤芯的第三控制阀，连通于所述第三控制阀的输出端的A线一级活性炭滤芯，连通于所述A线一级活性炭滤芯的A线二级活性炭滤芯，连通于所述A线二级活性炭滤芯的A线离子交换树脂滤芯，以及连通于所述A线离子交换树脂滤芯的电导率检测装置，经所述A线离子交换树脂滤芯后的原水经第四控制阀后连通于纯水存储桶。

3.如权利要求2所述应用于半导体封装制程清洗工序的废水循环再生系统，其特征在于，所述过滤B线包括：连通于第一泵体的输出端的第五控制阀，连接于所述第五控制阀的输出端的B线石英砂滤芯，连通于所述B线石英砂滤芯的B线一级棉质滤芯，连通于所述B线一级棉质滤芯的B线二级棉质滤芯，连接于所述B线二级棉质滤芯的第六控制阀，连通于所述第六控制阀的输出端的B线一级活性炭滤芯，连通于所述B线一级活性炭滤芯的B线二级活性炭滤芯，连通于所述B线二级活性炭滤芯的B线离子交换树脂滤芯，以及连通于所述B线离子交换树脂滤芯的电导率检测装置，经所述B线离子交换树脂滤芯后的原水经第七控制阀后连通于纯水存储桶。

4.如权利要求3所述应用于半导体封装制程清洗工序的废水循环再生系统，其特征在于，所述A线二级棉质滤芯与第三控制阀之间的节点及B线二级棉质滤芯与第六控制阀之间的节点还连通有一第八控制阀，由第三控制阀、第六控制阀和第八控制阀共同完成在过滤A线和过滤B线的中部过滤线路切换。

5.如权利要求3所述应用于半导体封装制程清洗工序的废水循环再生系统，其特征在于，所述A线一级棉质滤芯和B线一级棉质滤芯均为20um棉质滤芯。

6.根据权利要求3所述的应用于半导体封装制程清洗工序的废水循环再生系统，其特征在于，所述A线二级棉质滤芯和B线二级棉质滤芯均为2um棉质滤芯。

7.根据权利要求1所述的应用于半导体封装制程清洗工序的废水循环再生系统，其特征在于，所述原水存储桶上还连通于一第三泵体，所述第三泵体的输出端连接于加热管，经所述加热管加热消毒后的原水流回至原水存储桶。

8.根据权利要求1所述的应用于半导体封装制程清洗工序的废水循环再生系统，其特征在于，所述纯水存储桶上还连通有一第四泵体，所述第四泵体的输出端连通于加热管，经所述加热管加热消毒后的纯水流回至纯水存储桶。

9.根据权利要求1至8任意一项所述的应用于半导体封装制程清洗工序的废水循环再生系统，其特征在于，连通于市水入口的还有一过滤C线，所述过滤C线输出端连通于纯水存储桶。

10.如权利要求9所述的应用于半导体封装制程清洗工序的废水循环再生系统，其特征在于，所述过滤C线包括：连通于市水入口的第九控制阀，连接于所述第九控制阀的输出端的C线一级棉质滤芯，连通于所述C线一级棉质滤芯的C线二级棉质滤芯，连通于C线二级棉质滤芯的活性炭滤芯，连通于活性炭滤芯的离子交换树脂滤芯，连通于离子交换树脂滤芯的第十控制阀，以及用于检测所述离子交换树脂滤芯的输出端水质的电导率检测装置。