[实用新型]一种用于半导体晶片加工的化蜡装置有效
申请号: | 201921316952.9 | 申请日: | 2019-08-14 |
公开(公告)号: | CN210875252U | 公开(公告)日: | 2020-06-30 |
发明(设计)人: | 兰少东 | 申请(专利权)人: | 江苏中科晶元信息材料有限公司 |
主分类号: | B01J6/00 | 分类号: | B01J6/00;H01L21/67;B26F3/12 |
代理公司: | 苏州市港澄专利代理事务所(普通合伙) 32304 | 代理人: | 汤婷 |
地址: | 215600 江苏省苏州市张家港市塘桥镇(江*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 用于 半导体 晶片 加工 装置 | ||
1.一种用于半导体晶片加工的化蜡装置,包括箱体(1),其特征在于,所述箱体(1)内部固定连接有盛放箱(3),位于箱体(1)与盛放箱(3)之间设有加热层(2),箱体(1)上部放置有箱盖(10),箱盖(10)内部嵌入有轴承(11),轴承(11)内部插入有转动轴(12),转动轴(12)的上端固定连接有摇把(13),转动轴(12)周侧位于箱盖(10)的下方固定连接有若干叶片(14);
所述箱体(1)一侧固定连接有连接板(17),连接板(17)一侧转动连接有防护盖(18),箱体(1)一侧固定连接有固定架(19),固定架(19)位于防护盖(18)的内部,固定架(19)下端固定连接有卡环(20),卡环(20)内部卡接有支撑架(21),支撑架(21)内部固定连接有切割线(22),箱体(1)一侧插入有导热棒(15),导热棒(15)一端位于加热层(2)的内部,导热棒(15)另一端位于箱体(1)的外侧防护盖(18)的内部,导热棒(15)与切割线(22)接触。
2.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶片加工的化蜡装置,其特征在于,所述加热层(2)内部固定安装有加热棒(4),加热棒(4)位于盛放箱(3)的下方,加热层(2)内部添加有水。
3.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶片加工的化蜡装置,其特征在于,所述箱体(1)一侧固定连接转轴(5),转轴(5)一侧固定连接有压板(6),压板(6)的上方固定连接有把手(7),压板(6)的下方固定连接有橡胶垫(8)。
4.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶片加工的化蜡装置,其特征在于,所述导热棒(15)与箱体(1)之间固定连接有密封圈(16)。
5.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶片加工的化蜡装置,其特征在于,所述箱体(1)上端一侧固定连接有挡板(9),挡板(9)位于箱盖(10)的一侧,挡板(9)成弧形。
6.根据权利要求1所述的一种用于半导体晶片加工的化蜡装置,其特征在于,所述叶片(14)的数量为六个,叶片(14)的下端均开设有斜口。
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