[实用新型]一种超净CEMS探头

权利要求书

1.一种超净CEMS探头，包括取样管(1)、前端盖(4)、外套管(7)、滤芯(9)、后端盖(11)和出气管(14)，所述外套管(7)的两端开口处分别固定有前端盖(4)和后端盖(11)，前端盖(4)上通过固定螺钉(5)固定有法兰盘(3)，取样管(1)通过固定套(2)连接在前端盖(4)上，所述后端盖(11)上固定有滤芯固定座(12)，滤芯固定座(12)上安装有滤芯(9)，滤芯(9)处于外套管(7)内，所述滤芯固定座(12)内设有出气孔(16)，出气孔(16)通过连接管(15)与出气管(14)连接，其特征在于，所述滤芯固定座(12)在对应滤芯(9)的安装面上设有超声波发生器(19)，所述连接管(15)上还连接有反吹管(13)，反吹管(13)与外部高压气源连接。

2.根据权利要求1所述的一种超净CEMS探头，其特征在于，所述滤芯固定座(12)与后端盖(11)之间安装有若干个密封圈(20)。

3.根据权利要求1所述的一种超净CEMS探头，其特征在于，所述反吹管(13)和出气管(14)上均安装有单向阀。

4.根据权利要求1或2或3所述的一种超净CEMS探头，其特征在于，所述外套管(7)中还安装有加热装置，所述加热装置为加热丝(6)，加热丝(6)呈螺旋状的固定在外套管(7)的内壁上。

5.根据权利要求4所述的一种超净CEMS探头，其特征在于，所述外套管(7)内还设有内锥套(8)，内锥套(8)的两端分别固定在前端盖(4)和后端盖(11)上，滤芯(9)即处于内锥套(8)内，外套管(7)与内锥套(8)之间存在空腔(10)，加热丝(6)即安装在该空腔(10)内。

6.根据权利要求5所述的一种超净CEMS探头，其特征在于，在顺沿烟气的流动方向上，内锥套(8)的内径逐渐增加。

7.根据权利要求6所述的一种超净CEMS探头，其特征在于，所述固定套(2)在对应内锥套(8)端部位置处开设有锥形孔(17)，在顺沿烟气的流动方向上，锥形孔(17)的内径逐渐增加，锥形孔(17)的两端分别与取样管(1)和内锥套(8)相对。

8.根据权利要求1或5或6或7所述的一种超净CEMS探头，其特征在于，所述滤芯固定座(12)上通过螺纹连接或焊接固定有与出气孔(16)位置相对的发生器固定套(18)，超声波发生器(19)安装在发生器固定套(18)上，且发生器固定套(18)的内孔具有锥度，发生器固定套(18)的内孔在顺沿烟气的流动方向上，其直径逐渐减少。