[实用新型]一种等离子体处理装置

说明书

一种等离子体处理装置，属于等离子体设备技术领域。其特征在于：电极管的两端分别连接有进水管（12）和出水管（16），进水管（12）和出水管（16）与箱体（1）之间均设置有密封件（13），箱体（1）还连接有用于对放电腔抽负压的抽负压装置；所述的密封件（13）包括套设在对应的进水管（12）或出水管（16）外的密封筒（17）、内锁紧筒（22）以及外锁紧筒（21），内锁紧筒（22）和外锁紧筒（21）与密封筒（17）之间均设置有密封环。本等离子体处理装置提高了放电效率，且可以施加中高频交流电，放电频率提高，产生的电子能量提高，密封件使箱体内维持稳定的负压状态，保证了放电稳定。

技术领域

一种等离子体处理装置，属于等离子体设备技术领域。

背景技术

等离子体的用途非常广泛，从我们的日常生活到工业、农业、环保、军事、医学等方面，涉及环保领域中的工业废气VOC的高浓度处理、工业和民用材料的改性、医院手术室及医疗器械及药厂的药用器材的消毒杀菌、室内的空气净化、农副产品的消毒和保险等，都有非常重要的应用价值。

等离子放电类型很多，目前市场通常用的有电晕针尖放电、双介质阻档放电、单介质放电技术，这些都是在常压下放电，而且只局限在两极间距离在 0.3~20mm 的范围内放电。电晕针尖放电一般为直流脉冲阳极和阴极之间产生电场，然后在针尖上产生一个点或无数个点的辉光放电，其电子能量极其有限，电晕针尖放电技术通常用在除尘除油烟处理等领域。双介质阻挡放电和单介质放电技术应用于工业废气处理是我们早在 1997 年开始研究的一项新技术，单介质技术由于放电子密度不够大而不被应用。双介质阻挡放电有两种方式，套管式介质阻挡放电放和排极式介质阻挡放电，目前我们国内在环保领域中广泛应用于工业废气处理的是排极式双介质阻挡放电，它的结构原理为两极用绝缘介质覆盖，两极之间并保持着一定的距离，然后在两极上供给足够的交流电压，最后发生绝缘介质击穿放电。

以上的技术的缺点在于能耗高、热量高、风阻大、频率低，原因主要体现在四个方面： 1、两电极上覆盖的介质一般采用无机材料，有石英玻璃和陶瓷之类的，在实际应用中未考虑机械强度和使用寿命，一般设计介质厚度为 1~2mm 之间，介质越厚介电常数也越大，同时供给在两极之间的电压也越高，耗能也越大，发温也越高。 2、双介质阻挡放电或是单介质放电一般都是在常压下放电，大部分电子能量消耗在空气中的水气上，能量得不到有效利用，也会造成耗能增大。 3、介质阻挡放电都应用于常压放电，由于受空气中的氧气和水的影响造成极与极之间的电子或离子运动间距得不到延长，所以放电距离做不大，一般只能控制在0.3~20mm 之间，放电距离越小风阻越大，通风量越小，因而应用受到限制。

申请号为201510051111.X的中国发明专利申请公开了一种等离子体处理装置，其通过设置在反应箱内的三组电极管实现放电，通过将电极管与冷却水源连通，直接对电极管进行降温，解决了上述的热量高的问题，但是其没有解决上述的能耗高、风阻大、频率低的问题。

发明内容

本实用新型要解决的技术问题是：克服现有技术的不足，提供一种减少电极管件的介质阻挡，使放电距离增大，提高了放电效率的等离子体处理装置。

本实用新型解决其技术问题所采用的技术方案是：该等离子体处理装置，其特征在于：包括箱体以及设置在箱体内的电极管，电极管的两端分别连接有进水管和出水管，进水管和出水管与箱体之间均设置有密封件，在箱体内形成封闭的放电腔，箱体还连接有用于对放电腔抽负压的抽负压装置；

所述的密封件包括套设在对应的进水管或出水管外的密封筒、内锁紧筒以及外锁紧筒，内锁紧筒和外锁紧筒均与密封筒螺纹连接，内锁紧筒和外锁紧筒与密封筒之间均设置有密封环，内锁紧筒设置在箱体内。

优选的，环绕所述的箱体的外壁间隔设置有多个加强筋。