[实用新型]一种镀膜机靶头有效
| 申请号： | 201921319903.0 | 申请日： | 2019-08-15 |
| 公开（公告）号： | CN210394496U | 公开（公告）日： | 2020-04-24 |
| 发明（设计）人： | 封文炎;潘毅;林敏;姚峰;黄李平 | 申请（专利权）人： | 深圳市正和忠信股份有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/00 | 分类号： | C23C14/00 |
| 代理公司： | 中山市兴华粤专利代理有限公司 44345 | 代理人： | 翁晓婵 |
| 地址： | 518117 广东*** | 国省代码： | 广东;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 一种 镀膜 机靶头 | ||
1.一种镀膜机靶头，包括靶芯、套接于靶芯外的靶轴，其特征在于：还包括依次套接在靶轴上的靶头固定座、靶框、齿轮、固定轴承、油封组件以及油封固定套，所述靶轴上对应设置有靶头固定座套接台、靶框套接台、齿轮套接台、固定轴承套接台、油封组件套接台以及油封固定套套接台。
2.根据权利要求1所述的镀膜机靶头，其特征在于：所述固定轴承为绝缘固定轴承。
3.根据权利要求2所述的镀膜机靶头，其特征在于：所述固定轴承为陶瓷固定轴承。
4.根据权利要求3所述的镀膜机靶头，其特征在于：所述油封组件包括两个依次层叠的第一油封件和第二油封件。
5.根据权利要求4所述的镀膜机靶头，其特征在于：所述第一油封件设置在固定轴承上方，第二油封件设置在第一油封件上方，油封固定套设置在第二油封件上方。
6.根据权利要求1所述的镀膜机靶头，其特征在于：所述靶头固定座设置有座肩用于承托靶框及靶框内的齿轮。
7.根据权利要求1所述的镀膜机靶头，其特征在于：所述靶头固定座与靶框之间设置一靶头绝缘垫。
8.根据权利要求1所述的镀膜机靶头，其特征在于：所述油封组件与油封固定套之间设置一油封套绝缘垫。
9.根据权利要求1所述的镀膜机靶头，其特征在于：所述油封固定套顶部开设有进水口，所述油封固定套侧壁开设有出水口。
10.根据权利要求9所述的镀膜机靶头，其特征在于：所述靶头还包括用于密封进水口的盖体，所述盖体设置于油封固定套的进水口处。
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