[实用新型]线切割装置

权利要求书

1.一种线切割装置，应用于对硅棒进行切割作业的硅棒截断设备，其特征在于，包括：

切割架，可旋转地设置于一升降机构上，包括旋转部，自所述旋转部朝第一方向延伸的第一悬臂，自所述旋转部朝第二方向延伸的第二悬臂，自所述旋转部朝第三方向延伸的第三悬臂；

第一多线切割轮，设置于所述第一悬臂的延伸端，具有至少二线槽；

第二多线切割轮，设置于所述第二悬臂的延伸端，具有至少二线槽，绕于所述第一多线切割轮及第二多线切割轮之间的切割线段形成多线线锯；

单线切割轮，设置于所述第三悬臂的延伸端，绕于所述第二多线切割轮及单线切割轮之间的切割线段形成单线线锯；

其中，对所述硅棒进行截断作业时，所述切割架绕其旋转部转动以实现借由所述多线线锯进行切割的第一切割状态以及借由所述单线线锯进行切割的第二切割状态的转换。

2.根据权利要求1所述的线切割装置，其特征在于，所述多线线锯的延长线与所述单线线锯的延长线之间呈90°夹角；所述切割架于所述升降机构上可实现的±45°或90°旋转。

3.根据权利要求1所述的线切割装置，其特征在于，所述多线线锯的延长线与所述单线线锯的延长线之间呈60°夹角；所述切割架于所述升降机构上可实现的±60°或120°旋转。

4.根据权利要求1所述的线切割装置，其特征在于，所述第一切割状态为取片作业状态；所述第二切割状态为截断作业状态。

5.根据权利要求1所述的线切割装置，其特征在于，所述切割线以首尾相接的环形绕线方式绕于所述第一多线切割轮、第二多线切割轮、以及单线切割轮之间。

6.根据权利要求5所述的线切割装置，其特征在于，所述第一多线切割轮或第二多线切割轮借由一驱动电机驱动旋转以运行绕于所述第一多线切割轮、第二多线切割轮、以及单线切割轮之间的切割线。

7.根据权利要求5或6所述的线切割装置，其特征在于，所述切割线为至少两根切割线绞合形成的绞线切割线。

8.根据权利要求5所述的线切割装置，其特征在于，还包括张力检测机构，包括设置于所述切割架上的张紧轮，用于检测并调整所述第一多线切割轮、第二多线切割轮、以及单线切割轮之间切割线的张力。

9.根据权利要求8所述的线切割装置，其特征在于，还包括至少一个导线轮，设置于所述切割架上以实现所述切割线的换向。

10.根据权利要求9所述的线切割装置，其特征在于，所述切割线经所述导线轮导向至少两次绕于所述第一多线切割轮及第二多线切割轮，并经所述导线轮导向一次绕于所述单线切割轮。

11.根据权利要求1所述的线切割装置，其特征在于，所述切割线通过首端绕于一放线筒及尾端绕于一收线筒，并通过多个导线轮导向的方式绕于所述第一多线切割轮、第二多线切割轮、以及单线切割轮之间。

12.根据权利要求11所述的线切割装置，其特征在于，所述切割线经所述导线轮导向至少两次绕于所述第一多线切割轮及第二多线切割轮，并经所述导线轮导向一次绕于所述单线切割轮。

13.根据权利要求11所述的线切割装置，其特征在于，还包括至少一个张力检测机构，包括设置于所述切割架上、所述升降机构或机架上的张紧轮，用于检测并调整所述第一多线切割轮、第二多线切割轮、以及单线切割轮之间切割线的张力。