[实用新型]晶圆片整形机构

权利要求书

1.一种晶圆片整形机构，其特征在于：包括收拢组件及旋转组件，所述收拢组件用于使晶圆片向中心靠拢，包括收拢驱动件及两收拢夹爪，所述两收拢夹爪的两相对面上分别具有与晶圆片边缘相对应的弧形槽，所述收拢驱动件可驱动两收拢夹爪旋转以夹紧或松开晶圆片，所述旋转组件对应设置在收拢组件下方，用于固定晶圆片并驱动晶圆片旋转，包括旋转驱动件及旋转支撑座，所述旋转驱动件与旋转支撑座连接，旋转驱动件可驱动旋转支撑座旋转以使晶圆片旋转。

2.根据权利要求1所述的晶圆片整形机构，其特征在于：还包括支架，所述收拢组件固定在支架上表面，所述旋转驱动件固定在支架下表面，所述旋转支撑座设置在支架上方。

3.根据权利要求1所述的晶圆片整形机构，其特征在于：所述收拢夹爪包括动力臂及固定在动力臂上的定位块，所述定位块侧部开设有弧形槽。

4.根据权利要求1所述的晶圆片整形机构，其特征在于：所述旋转支撑座内开设有气道，所述气道贯穿旋转支撑座顶端。